1.差动式厚度测量装置，包括驱动部分、齿轮减速对、差动微位移机构和测量机构；

驱动部分中的步进电机（12）通过电机安装架（13）和托架（14）固定在导轨（6）上；通过联轴器（11）连接电机旋转轴与齿轮减速对（10），将电机（12）输出的旋转运动经过齿轮减速对（10）以及差动螺杆（9）转化成滑板（3）的直线运动；

测量机构中的激光位移传感器（1）通过安装板（2）固联在滑板（3）上，滑板（3）可在导轨（6）上滑动，从而带动激光位移传感器（1）做直线运动，其特征在于：差动微位移机构中的差动螺杆（9）的大导程端与支撑板（15）上的螺母旋合，小导程端与螺母台板（7）旋合，两端螺旋旋向相反；螺母台板相对于螺杆大导程端做前旋运动，相对于螺杆小导程端做后旋运动，前旋与后旋的位移不相等，前旋运动和后旋运动的差值即为螺母台板（7）的运动距离，螺母台板（7）通过与滑板（3）固定连接带动测量机构运动；

还包括重力平衡机构（17），重力平衡机构（17）与螺母台板（7）连接，用于平衡重力负载且可防逆转。

2.根据权利要求1所述的差动式厚度测量装置，其特征在于：还包括调整镶条（4），用于调整滑板与导轨接触的松紧程度。

3.根据权利要求1所述的差动式厚度测量装置，其特征在于：还包括底托板（5），用于约束滑板（3）沿导轨（6）做直线运动。

4.根据权利要求1或2或3所述的差动式厚度测量装置，其特征在于：还包括防逆转机构（16）；防逆转机构（16）与齿轮减速对（10）的齿轮轴相连，当步进电机因掉电失去自锁功能时，能够进行制动锁紧。

5.根据权利要求4所述的差动式厚度测量装置，其特征在于：所述的防逆转机构（16）是通过控制螺旋线圈（16‑6）的通断电来控制制动外锥盘（16‑2）和内锥盘（16‑10）的分合，从而完成制动。