1.一种低温真空蒸发源，其特征在于，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统、连接组件；

所述加热系统包括：

电极端口(8)、加热灯丝(16)、屏蔽罩(13)、坩埚(14)、固定环(15)、底片(17)和电极连接件(11)；

其中，加热灯丝(16)与多个固定环(15)围成中空筒状加热芯，屏蔽罩(13)罩于加热芯外部，坩埚(14)嵌入于加热芯顶部，底片(17)固定于加热芯底端，加热灯丝(16)伸出的供电接头通过电极连接件(11)与电极端口(8)伸出的供电线连接；

坩埚为PBN坩埚；

所述冷却系统包括：

冷却罩(12)、进水管(18)、出水管(19)、进水管接头(3)和出水管接头(9)；

所述冷却罩(12)罩置于屏蔽罩(13)外部，冷却罩(12)本体为内外两层罩壁之间带有密闭柱形腔的带腔罩体；

其中，进水管(18)一端伸入于与冷却罩(12)的柱形腔的入口位置，另一端与进水管接头(3)连接；出水管(19)一端伸入于却罩(20)的柱形腔的出口位置，另一端与出水管接头(9)连接；

所述测温系统包括：

电偶丝(6)和热电偶测温器接入口(2)；

所述电偶丝(6)一端穿过底片上预设的小孔置于坩埚(14)底端1‑3mm处，一端用螺栓与热电偶测温器接入口(2)连接；

所述控制系统包括：

旋转挡板(7)和波纹管旋转导入器(1)；

所述旋转导入器(1)穿过冷却罩(12)，且其顶端超出冷却罩(12)顶端5‑10mm，所述旋转挡板(7)用螺母固定在回转杆上距冷却罩(12)顶端3‑6mm；

所述连接组件包括：

法兰(4)和固定片(10)；

所述法兰(4)一侧焊接进水管接头(3)、出水管接头(9)、电极端口(8)、热电偶测温器接入口(2)、旋转导入器(1)，其余部件均设置于法兰(4)的另一侧；

其中，电极端口(8)伸出的两条供电线之间设置有用于保持间距并限位的固定片(10)。

2.根据权利要求1所述的一种低温真空蒸发源，其特征在于：所述进水管(18)一端伸入于与冷却罩(12)的柱形腔的入口位置3‑5mm；所述出水管(19)一端伸入于冷却罩(12)的柱形腔的出口位置3‑5mm。

3.根据权利要求1所述的一种低温真空蒸发源，其特征在于：所述屏蔽罩(13)为两层Ta片做成的屏蔽罩。