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专利号: 2017103826869
申请人: 西安理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单层二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,通过使用真空管式炉设置三个温区,将硫粉置于一温区;将三氧化钼粉置于二温区;将衬底放在带盖的坩埚底部,然后将坩埚放置在三温区;

步骤2,向真空管式炉中通载气;

步骤3,第一加热阶段:将二温区加热到150~350℃,将三温区加热到150~350℃,保持

60~180min;

步骤4,第二加热阶段:将二温区加热到580~800℃,保持5~20min,得气态的MoO3-x,其中0

步骤5,第三加热阶段:加热一温区到130~220℃,保持10~60min,得到硫蒸气;将二温区加热到800~950℃,将三温区加热到750~900℃,保持10~60min;调整载气流速,通过载气将所述硫蒸气及所述气态的MoO3-x携带至坩埚反应腔内,在衬底表面形成单层二硫化钼薄膜;

步骤5中,调整载气流速至10~80ccm;

步骤3中第一加热阶段二温区及三温区的升温速率为5~30℃/min;

步骤4中第二加热阶段二温区及三温区的升温速率为15~50℃/min;

步骤5中第三加热阶段一温区的升温速率为20~40℃/min;

步骤5中第三加热阶段二温区及三温区的升温速率为5~50℃/min;

步骤1中,硫粉与三氧化钼粉质量比为:1:20~1:150;

步骤2中所述载气为高纯氮气、稀释氢气或高纯惰性气体,通入载气的流速为100~

500ccm。

2.根据权利要求1所述的一种单层二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,步骤1中,所述衬底为硅、锗、碳化硅、氧化硅、蓝宝石、云母、氮化镓或石英。