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专利号: 2017104102582
申请人: 中北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构,其特征在于:包括底座(1)、湍流传感器(2)和补偿传感器(3),湍流传感器(2)和补偿传感器(3)并列间隔的安置于底座(1)上;湍流传感器(2)包括第一中空壳体(4),第一中空壳体(4)侧壁设置出水孔(5),第一中空壳体(4)的顶端腔口处安装第一传感芯片(6),第一传感芯片(6)外加盖保护罩(7),且第一传感芯片(6)的纤毛穿出保护罩(7),第一中空壳体(4)的顶端面上围绕保护罩(7)均布设置若干保护杆(8);补偿传感器(3)包括第二中空壳体(9),第二中空壳体(9)的顶端腔口处安装第二传感芯片(10),第二中空壳体(9)的顶端封装密封导流罩(11);湍流传感器(2)的第一中空壳体(4)、第一传感芯片(6)与补偿传感器(3)的第二中空壳体(9)、第二传感芯片(10)完全相同。

2.根据权利要求1所述的面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构,其特征在于:第一中空壳体(4)侧壁设置4个出水孔(5),第一中空壳体(4)的顶端面上围绕保护罩(7)均布设置4根保护杆(8),并且保护杆(8)和出水孔(5)位置对应。