1.一种控制二硫化钼薄膜形貌的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、在通过使用真空管式炉设置三个温区,将硫粉置于一温区;将三氧化钼粉置于二温区;将衬底放在坩埚表面,然后将坩埚放置在三温区;
步骤2、将真空管式炉内抽真空,向真空管式炉中通载气进行清洗;
步骤3、第一阶段:清洗阶段,继续通所述载气,将二温区加热到150~350℃,将三温区加热到150~350℃,保持60~180min;
步骤4、第二阶段:三氧化钼预蒸发、预成核阶段,设置三温区预蒸发和预成核的温度差为-150~150℃,将二温区加热到600~800℃,保持10~40min;将三温区加热到600~750℃,保持10~40min,得气态的MoO3-x,其中0
步骤5、第三阶段:三氧化钼蒸发生长阶段,加热一温区到130~220℃,保持10~60min,得到硫蒸气;将二温区加热到800~900℃,保持10~60min;将三温区加热到700~850℃,保持10~60min;通过所述载气将所述硫蒸气及所述气态的MoO3-x携带至坩埚反应腔内,在所述衬底表面形成二硫化钼薄膜;
步骤6、第四阶段,降温阶段,将一温区、二温区及三温区降至室温。
2.根据权利要求1所述的一种控制二硫化钼薄膜形貌的方法,其特征在于,步骤1中,所述硫粉与所述三氧化钼粉质量比为:20:1~250:1。
3.根据权利要求1所述的一种控制二硫化钼薄膜形貌的方法,其特征在于,步骤1中,所述衬底为氧化硅或蓝宝石。
4.根据权利要求1所述的一种控制二硫化钼薄膜形貌的方法,其特征在于,步骤2所述载气为高纯氮气、氩气、稀释氢气或高纯惰性气体,通入载气的流速为100~500ccm。
5.根据权利要求1所述的一种控制二硫化钼薄膜形貌的方法,其特征在于,步骤5中,调整载气流速至10~80ccm。
6.根据权利要求1所述的一种控制二硫化钼薄膜形貌的方法,其特征在于,步骤3中,第一阶段二温区及三温区的升温速率为5~30℃/min。
7.根据权利要求1所述的一种控制二硫化钼薄膜形貌的方法,其特征在于,步骤4中,第二阶段二温区及三温区的升温速率为15~50℃/min。
8.根据权利要求1所述的一种控制二硫化钼薄膜形貌的方法,其特征在于,步骤5中,第三阶段一温区的升温速率为20~40℃/min。
9.根据权利要求1所述的一种控制二硫化钼薄膜形貌的方法,其特征在于,步骤5中,第三阶段二温区及三温区的升温速率为5~50℃/min。