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专利号: 2017104820836
申请人: 陕西科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-02-23
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摘要:

权利要求书:

1.一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)将干净的基片安装在磁控溅射仪的样品台,将CoTiO3靶和TiO2靶分别安装在磁控溅射仪的两个射频靶位上;

(2)对磁控溅射仪的溅射镀膜室抽真空,当真空度达到1.0×10-4Pa~9.9×10-4Pa时,向溅射镀膜室通入惰性气体,并使溅射镀膜室的气体压强保持在0.1Pa~2Pa;CoTiO3靶预溅射5~15min;

(3)将基片升温至300℃~600℃并保温,CoTiO3靶开始溅射30min~90min,得到CoTiO3有序纳米晶薄膜;

(4)调节CoTiO3有序纳米晶薄膜和TiO2靶材相互平行,TiO2靶材溅射10s~120s,得到核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(1)中CoTiO3靶溅射的法线方向与基片法线的夹角为0°~90°。

3.根据权利要求1所述的一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(1)中CoTiO3靶和基片的距离在1cm~7cm。

4.根据权利要求1所述的一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(2)中惰性气体为Ar气。

5.根据权利要求1所述的一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(3)中升温速度为10℃/min~30℃/min。

6.根据权利要求1所述的一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(2)和步骤(3)中CoTiO3靶的靶电源功率均为100W~400W。

7.根据权利要求1所述的一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(4)中溅射之前,调节TiO2靶材和基片之间的距离为3~7cm。

8.根据权利要求1所述的一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(4)中溅射时,温度在300℃~600℃。

9.根据权利要求1所述的一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(4)中TiO2靶材的靶电源功率为50W~200W。

10.一种利用权利要求1所述制备方法制得的核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜。