1.一种光栅尺的误差补偿系统,其特征在于,包括:
底座,包括第一平台和平行设置在所述第一平台的顶面的第二平台和第三平台,所述第二平台的顶面沿着其长度方向设有光栅尺;
气浮滑动装置,包括设置在所述第三平台的外周面的半包围滑块和设置在所述半包围滑块的内壁上的各气浮块,所述半包围滑块在驱动装置的作用下,带动各所述气浮块在所述第三平台的外周面做直线运动,所述半包围滑块的顶面设有光栅尺读数头,所述光栅尺与所述光栅尺读数头设置在同一水平面内;
激光干涉仪,包括设置在激光头支架上的激光头、设置在所述第三平台的顶面靠近所述激光头的一侧的分光镜以及设置在所述半包围滑块的顶面的反光镜,所述激光头、分光镜和反光镜的中心设置在同一水平面内;
所述驱动装置包括通过电机固定架设置在所述第一平台的靠近所述激光头的一侧的伺服电机,所述伺服电机的输出轴上设有第一同步轮,所述电机固定架上转动设有第一连杆,所述第一连杆的一端设有与所述第一同步轮通过第一同步带联动的第二同步轮,所述第一连杆的中部设有第三同步轮,所述第一平台的另一侧设有固定架,所述固定架内转动设有第二连杆,所述第二连杆的中部设有与所述第三同步轮通过第二同步带联动的第四同步轮;
所述半包围滑块包括相对设置的第一直板和第二直板,所述第一直板和所述第二直板通过第三直板连接,所述第二直板的外壁设有一弯板,所述第二直板和所述弯板之间的空隙组成可供所述第二同步带穿过的通道,所述第二同步带与所述弯板的其中一内壁固定设置,使所述半包围滑块跟随所述第二同步带做直线运动;
所述第二同步轮的直径大于所述第一同步轮的直径,所述第三同步轮的直径与所述第四同步轮的直径相同;
所述第一平台和所述第二平台的两侧的连接处各设有一固定板,所述电机固定架设置在其中一所述固定板上,所述固定架设置在另一所述固定板上,两所述固定板均设有可供所述第二同步带穿过的通孔。
2.如权利要求1所述的一种光栅尺的误差补偿系统,其特征在于,所述第三平台的顶面两侧各设有一限位架,所述分光镜设置在其中一所述限位架的顶面。
3.如权利要求1所述的一种光栅尺的误差补偿系统,其特征在于,所述第一平台设置在支架上,所述第一平台和所述支架之间均匀设置六个调平螺丝。
4.如权利要求1所述的一种光栅尺的误差补偿系统,其特征在于,所述第一平台靠近所述激光头的一侧设有空气过滤器和压力调节阀,所述空气过滤器和压力调节阀通过气管与所述气浮块连通。
5.如权利要求1所述的一种光栅尺的误差补偿系统,其特征在于,所述第一平台、第二平台和第三平台均采用大理石材质。
6.根据权利要求1所述的一种光栅尺的误差补偿系统进行的误差补偿方法,其特征在于,所述误差补偿方法包括以下步骤:(A)在所述光栅尺的行程范围内每间距为N设置一个测量点,总共设置K个所述测量点;
(B)通过所述光栅尺读数头得到任意两相邻位置的所述测量点Nk和Nk‑1之间的实际长度Nk‑Nk‑1;同时测量得到所述激光干涉仪在所述测量点Nk和Nk‑1之间的实际长度Hk‑Hk‑1,k≥1;
(C)利用公式ΔNk=(Nk‑Nk‑1)‑(Hk‑Hk‑1)得到所述测量点Nk和Nk‑1之间通过所述光栅尺读数头得到的测量长度与所述激光干涉仪得到的测量长度的差值ΔNk;
(D)利用公式Lk=N/(Nk‑Nk‑1)得到所述测量点Nk和Nk‑1之间的修正系数Lk。