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专利号: 2017105640972
申请人: 陕西科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种柔性TiO2阻变存储器的制备方法,其特征在于,采用提拉法将钛离子前驱溶液涂敷在柔性的PET/ITO基底上在其表面形成TiO2凝胶膜,然后对PET/ITO/TiO2依次经过高压汞灯下辐照和低压汞灯下辐照获得非晶态的TiO2薄膜阵列,最后在PET/ITO/TiO2阵列上沉积Pt电极,获得具有良好保持特性和循环特性的柔性PET/ITO/TiO2存储器阵列。

2.根据权利要求1所述的柔性TiO2阻变存储器的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤:步骤1)、将双(乙酰丙酮基)乙氧基异丙氧基钛酸酯与乙二醇甲醚溶液混合,获得Ti4+离子为0.5mol/L的溶液A;

步骤2)、向溶液A中添加乙酰丙酮溶液,使得乙酰丙酮与Ti4+的摩尔比为1:1,搅拌后获得溶液B;

步骤3)、采用步骤2)所得的溶液B,以PET/ITO为基底,采用提拉法,以2mm/s的速度提拉镀膜,获得TiO2凝胶膜;

步骤4)、在步骤3)获得的PET/ITO/TiO2上,放置掩模板C,并置于高压汞灯下进行辐照,辐照结束后,取出样品;

步骤5)、将步骤4)辐照后的样品,浸入到无水乙醇溶液中,浸泡1分钟后,取出样品,用氮气吹干,获得TiO2凝胶膜阵列;

步骤6)、将步骤5)所得的TiO2凝胶膜阵列,放于加热板上,然后置于低压汞灯下辐照;

辐照结束后,获得非晶态的TiO2薄膜阵列;

7)、在步骤6)获得的非晶态的TiO2薄膜阵列上,再次放置掩模板C,然后采用小型离子溅射仪,在PET/ITO/TiO2阵列上沉积Pt电极,最终获得以柔性PET为衬底,ITO为底电极,Pt为上电极的TiO2阻变存储器阵列。

3.根据权利要求2所述的一种柔性TiO2阻变存储器阵列的制备方法,其特征在于,步骤

1)中所述的溶液A浓度控制在0.4-0.5mol/l。

4.根据权利要求2或3所述的柔性TiO2阻变存储器阵列的制备方法,其特征在于,步骤4)中所述的高压汞灯的主波长为365nm,辐照时间为30-60分钟。

5.根据权利要求4所述的柔性TiO2阻变存储器阵列的制备方法,其特征在于,步骤5)中所述的低压汞灯的主波长为185nm和254nm,加热温度为150oC辐照时间为3-5小时,辐照过程中始终控制加热板温度为150℃。

6.根据上述任意一项权利要求所述制备方法制得的柔性TiO2阻变存储器。