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专利号: 2017105646856
申请人: 新昌县佳良制冷配件厂
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-11-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种瞬态电压抑制器,其特征在于:所述瞬态电压抑制器包括N型衬底、形成于所述N型衬底上的N型外延层、形成于所述N型外延层表面的P阱、形成于所述P阱上间隔设置的第一沟槽与第二沟槽、形成于所述第一沟槽与所述第二沟槽内的N型掺杂区域及N型多晶硅、形成于所述第一沟槽中的N型多晶硅上的第一输入电极、形成于所述第二沟槽中的N型多晶硅上的第二输入电极、及形成于所述第一沟槽与所述第二沟槽之间的P阱上的输出电极,所述P阱与第一沟槽中的N型掺杂区域及所述N型多晶硅构成第一齐纳二极管,所述P阱与第二沟槽中的N型掺杂区域及所述N型多晶硅构成第二齐纳二极管。

2.如权利要求1所述的瞬态电压抑制器,其特征在于:所述N型掺杂区域均匀形成于所述第一沟槽与所述第二沟槽表面,所述第一沟槽中的所述N型掺杂区域夹于所述第一沟槽与其内的所述N型多晶硅之间,所述第二沟槽中的所述N型掺杂区域夹于所述第二沟槽与其内的所述N型多晶硅之间。

3.如权利要求1所述的瞬态电压抑制器,其特征在于:所述第一沟槽与所述第二沟槽的尺寸相同。

4.如权利要求1所述的瞬态电压抑制器,其特征在于:所述P阱远离所述N型衬底的顶面、所述N型掺杂区域远离所述N型衬底的顶面、及所述N型多晶硅远离所述N型衬底的顶面平齐。

5.如权利要求1所述的瞬态电压抑制器,其特征在于:所述第一输入电极、所述第二输入电极及所述输出电极的厚度均相等。

6.一种瞬态电压抑制器的制作方法,其包括如下步骤:

提供N型衬底,在所述N型衬底上形成N型外延层,在所述N型外延层表面制备氧化层,对所述氧化层进行第一次光刻,干法刻蚀形成两个注入窗口;

在所述两个注入窗口对应的所述N型外延层进行至少三次不同能量的P型离子注入;

进行高温退火,所述两个注入窗口注入的P型离子扩散形成P阱;

使用所述氧化层作为掩膜,利用所述两个注入窗口进行干法刻蚀,形成位于所述P阱中的第一沟槽与第二沟槽,所述第一沟槽与所述第二沟槽的底部距所述P阱的底部具有预定距离;

进行N型热扩散,使得所述第一沟槽与所述第二沟槽表面形成N型掺杂区域;

去除所述氧化层;

在所述第一沟槽与所述第二沟槽中且所述N型掺杂区域表面形成N型多晶硅;及在所述第一沟槽的N型多晶硅上形成第一输入电极,在所述第二沟槽的N型多晶硅上形成第二输入电极,在所述第一沟槽与所述第二沟槽之间的P阱上形成输出电极,其中,所述P阱与第一沟槽中的N型掺杂区域及所述N型多晶硅构成第一齐纳二极管,所述P阱与第二沟槽中的N型掺杂区域及所述N型多晶硅构成第二齐纳二极管。

7.如权利要求6所述的瞬态电压抑制器的制作方法,其特征在于:所述三次P型离子注入的能量逐渐增大。

8.如权利要求6所述的瞬态电压抑制器的制作方法,其特征在于:所述去除所述氧化层的步骤包括进行湿法刻蚀去除所述氧化层。

9.如权利要求6所述的瞬态电压抑制器的制作方法,其特征在于:所述方法还包括:在所述N型外延层、所述P阱、所述N型掺杂区域上形成N型多晶硅层,进行干法刻蚀去除所述N型外延层、所述P阱、所述N型掺杂区域表面的部分N型多晶硅,所述第一沟槽与所述第二沟槽中的N型多晶硅保留从而形成所述N型多晶硅。

10.如权利要求6所述的瞬态电压抑制器的制作方法,其特征在于:所述方法还包括:在所述N型外延层、所述P阱、所述N型掺杂区域及所述N型多晶硅表面制备金属层,对所述金属层进行第二次光刻,干法或湿法刻蚀及快速热退火,形成所述第一输入电极、第二输入电极及输出电极。