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专利号: 2017105950324
申请人: 西南交通大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种制备透明Bi2Se3薄膜的方法,包括以下步骤:

a、溅射沉积:选取石英(SiO2)基片或蓝宝石(Al2O3)基片作为磁控溅射的衬底,选取纯度为99.999%的Bi2Se3材料作为磁控溅射的靶材,在基片上溅射沉积一层Bi2Se3薄膜;

b、后退火处理:将a步沉积有Bi2Se3薄膜的基片和粒径为0.6mm-1.2mm的硒粒球一起封入气压小于1×10-2Pa的真空石英管中,然后将真空石英管置于管式炉中,在氩气保护气氛下进行后退火处理,即得透明Bi2Se3薄膜;

所述的后退火处理的具体操作是:将管式炉以2℃/min的升温速度升至300℃,保温2-

5h,再将真空石英管推入冷水中淬火。

2.根据权利要求1所述的一种制备透明Bi2Se3薄膜的方法,其特征在于:所述步骤a的溅射沉积的工艺条件为:靶材到基片的距离为5-7cm,溅射前使真空室的气压小于2×10-4Pa,再通入纯度为99.995%的氩气作为工作气体;溅射时的气压为0.3-0.5Pa、衬底温度为300-

400℃,溅射功率为50-70W、溅射时间为1-10秒。

3.根据权利要求1所述的一种制备透明Bi2Se3薄膜的方法,其特征在于:所述步骤c中硒粒球的质量与基片上沉积的Bi2Se3的质量之比0.1-0.2:1。