1.一种制备透明Bi2Se3薄膜的方法,包括以下步骤:
a、溅射沉积:选取石英(SiO2)基片或蓝宝石(Al2O3)基片作为磁控溅射的衬底,选取纯度为99.999%的Bi2Se3材料作为磁控溅射的靶材,在基片上溅射沉积一层Bi2Se3薄膜;
b、后退火处理:将a步沉积有Bi2Se3薄膜的基片和粒径为0.6mm-1.2mm的硒粒球一起封入气压小于1×10-2Pa的真空石英管中,然后将真空石英管置于管式炉中,在氩气保护气氛下进行后退火处理,即得透明Bi2Se3薄膜;
所述的后退火处理的具体操作是:将管式炉以2℃/min的升温速度升至300℃,保温2-
5h,再将真空石英管推入冷水中淬火。
2.根据权利要求1所述的一种制备透明Bi2Se3薄膜的方法,其特征在于:所述步骤a的溅射沉积的工艺条件为:靶材到基片的距离为5-7cm,溅射前使真空室的气压小于2×10-4Pa,再通入纯度为99.995%的氩气作为工作气体;溅射时的气压为0.3-0.5Pa、衬底温度为300-
400℃,溅射功率为50-70W、溅射时间为1-10秒。
3.根据权利要求1所述的一种制备透明Bi2Se3薄膜的方法,其特征在于:所述步骤c中硒粒球的质量与基片上沉积的Bi2Se3的质量之比0.1-0.2:1。