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专利号: 2017106008636
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-11-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,该方法具体步骤是:步骤(1).取MoS2源0.1~5g放入石英舟中,之后将装有MoS2源的石英舟放入电炉中的石英管内,所述石英舟放置在石英管的中间位置;

步骤(2).将基底用去离子水清洗后氮气吹干,放入石英管中,位置在载气流向下游方向距石英舟20~25cm处;

步骤(3).向石英舟内加入1~5ml去离子水;

步骤(4).开启机械泵抽真空,同时向石英管中输入载气氩氢混合气,混合气体中H2的体积含量为5%,载气流量为300sccm,抽气2~4min后,关闭机械泵停止抽真空,并同时关闭载气气流停止输入载气;

步骤(5).将石英管升温至700~1200℃,升温速率为20~30℃/min;温度升至700~

1200℃后保温,保温时间为2~180min;

步骤(6).石英管停止加热,将石英管冷却到常温,冷却速率为20~100℃/min,然后取出基底,在基底上获得MoS2二维薄膜。

2.如权利要求1所述的一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于:所述的基底为表面生长有氧化层的硅片(SiO2/Si)、石英玻璃、氮化镓或蓝宝石。

3.如权利要求1所述的一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于:所述的MoS2源有三种,分别为MoS2固体粉末,氧化钼和硫,金属钼和硫磺。

4.如权利要求1所述的一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于:石英管直径为1英寸。

5.如权利要求1所述的一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于:基底尺寸为2.5~

3.5cm×1.5~2.0cm。