1.一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,该方法具体步骤是:步骤(1).取MoS2源0.1~5g放入石英舟中,之后将装有MoS2源的石英舟放入电炉中的石英管内,所述石英舟放置在石英管的中间位置;
步骤(2).将基底用去离子水清洗后氮气吹干,放入石英管中,位置在载气流向下游方向距石英舟20~25cm处;
步骤(3).向石英舟内加入1~5ml去离子水;
步骤(4).开启机械泵抽真空,同时向石英管中输入载气氩氢混合气,混合气体中H2的体积含量为5%,载气流量为300sccm,抽气2~4min后,关闭机械泵停止抽真空,并同时关闭载气气流停止输入载气;
步骤(5).将石英管升温至700~1200℃,升温速率为20~30℃/min;温度升至700~
1200℃后保温,保温时间为2~180min;
步骤(6).石英管停止加热,将石英管冷却到常温,冷却速率为20~100℃/min,然后取出基底,在基底上获得MoS2二维薄膜。
2.如权利要求1所述的一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于:所述的基底为表面生长有氧化层的硅片(SiO2/Si)、石英玻璃、氮化镓或蓝宝石。
3.如权利要求1所述的一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于:所述的MoS2源有三种,分别为MoS2固体粉末,氧化钼和硫,金属钼和硫磺。
4.如权利要求1所述的一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于:石英管直径为1英寸。
5.如权利要求1所述的一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于:基底尺寸为2.5~
3.5cm×1.5~2.0cm。