1.一种聚乙二醇油酸咪唑啉缓蚀剂,其特征在于,利用油酸咪唑啉分子结构中的氨基与端环氧基的聚乙二醇或聚乙二醇单甲醚反应,将聚乙二醇链段以化学键的方式引入油酸咪唑啉分子结构中,其具有以下结构:其中:n为整数;n≥2。
2.一种聚乙二醇油酸咪唑啉缓蚀剂制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:在装有分水器和冷凝管的圆底烧瓶中加入油酸、二乙烯三胺以及携水剂,升温至150℃,反应3小时,继续升温至210℃反应6-10小时,反应结束后,利用减压蒸馏除去多余的携水剂和未反应的二乙烯三胺,得到油酸咪唑啉;
步骤2:在圆底烧瓶中将聚乙二醇或聚乙二醇单甲醚、氢氧化钠水溶液充分混合,升温至35-45℃使聚乙二醇或聚乙二醇单甲醚熔融,逐滴滴加环氧氯丙烷,滴加完毕后在温度为
35-45℃下继续反应0.5-2小时,抽滤除去氢氧化钠颗粒后利用旋转蒸发除去未反应的环氧氯丙烷,得到端环氧聚乙二醇或端环氧聚乙二醇单甲醚;
步骤3:在圆底烧瓶中将步骤1中得到的油酸咪唑啉和步骤2中得到的端环氧聚乙二醇或端环氧聚乙二醇单甲醚充分混合,在温度为80℃下反应4-24小时,即得到聚乙二醇油酸咪唑啉缓蚀剂。
3.根据权利要求2所述的一种聚乙二醇油酸咪唑啉缓蚀剂制备方法,其特征在于,所述步骤1中的携水剂为二甲苯。
4.根据权利要求2所述的一种聚乙二醇油酸咪唑啉缓蚀剂制备方法,其特征在于,所述步骤1中的油酸与二乙烯三胺的投料摩尔比为1:1-1:2。
5.根据权利要求2所述的一种聚乙二醇油酸咪唑啉缓蚀剂制备方法,其特征在于,所述步骤2中氢氧化钠水溶液的浓度为质量百分数30%-90%。
6.根据权利要求2所述的一种聚乙二醇油酸咪唑啉缓蚀剂制备方法,其特征在于,所述步骤2中聚乙二醇与环氧氯丙烷的投料摩尔比为1:2-1:20;所述步骤2中聚乙二醇与氢氧化钠的投料摩尔比为1:2-1:20。
7.根据权利要求2所述的一种聚乙二醇油酸咪唑啉缓蚀剂制备方法,其特征在于,所述步骤2中聚乙二醇单甲醚与环氧氯丙烷的投料摩尔比为1:1-1:10;所述步骤2中聚乙二醇单甲醚与氢氧化钠的投料摩尔比为1:1-1:10。
8.根据权利要求2所述的一种聚乙二醇油酸咪唑啉缓蚀剂制备方法,其特征在于,所述步骤3中油酸咪唑啉和端环氧聚乙二醇的投料摩尔比为2:1;所述步骤3中油酸咪唑啉和端环氧聚乙二醇单甲醚的投料摩尔比为1:1。