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专利号: 2017106079932
申请人: 中北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 微观结构技术〔7〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于射频MEMS开关的封装方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:

1)制作下金属层:在衬底上围绕所述射频MEMS开关设置一层中空方形氮化硅隔离层,在氮化硅隔离层的上方设置第一金属层;

2)制作封装帽:所述封装帽为一具有内凹腔结构的立方体结构,在所述封装帽的凹腔边缘处设置第二金属层,所述第一金属层与所述第二金属层形状结构大小一致,所述封装帽本体的内表面粘附有金薄膜;

所述金薄膜在所述封装帽本体相对的侧壁上开设缺口,所述缺口用于将所述射频MEMS开关的信号线传递至所述封装帽外;

在制作封装帽时,需要进行双面光刻;

3)键合:将所述封装帽所在的晶圆放置于所述衬底所在的晶圆上,两个晶圆通过对准标记相互对准,再升高加工温度,融化第一金属层及第二金属层,形成合金键合层;

4)划片:根据双面光刻形成的图形划片,将晶圆切割制成单颗组件。

2.根据权利要求1所述的一种用于射频MEMS开关的封装方法,其特征在于,所述金薄膜采用金、锡、或铜材料。

3.根据权利要求1所述的一种用于射频MEMS开关的封装方法,其特征在于,在所述封装帽本体内壁上溅射一层所述金薄膜。

4.根据权利要求1所述的一种用于射频MEMS开关的封装方法,其特征在于,所述封装帽本体采用材料包括玻璃、多晶硅、或高阻硅。

5.根据权利要求1所述的一种用于射频MEMS开关的封装方法,其特征在于,所述缺口为一矩形缺口,所述金薄膜在所述封装帽本体内侧壁的位置处开设两个矩形缺口,两个所述矩形缺口对称分布设置在所述封装帽本体的侧壁上。

6.根据权利要求1所述的一种用于射频MEMS开关的封装方法,其特征在于,所述第一金属层厚度为3μm;所述第二金属层厚度为2μm。

7.根据权利要求1所述的一种用于射频MEMS开关的封装方法,其特征在于,所述步骤3)为金属键合,键合温度为250-300℃。

8.根据权利要求1所述的一种用于射频MEMS开关的封装方法,其特征在于,所述封装方法为晶圆级封装。