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专利号: 2017106492272
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2023-11-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种激光干涉图案化光场作为光源的光诱导介电泳装置,其特征是:包括激光干涉系统(1)、光学系统(2)、光诱导介电泳芯片(3)、信号发生器(4)、显微镜系统(5)和CCD图像传感系统(6),激光器发射的激光经激光干涉系统(1)后产生干涉图案,干涉图案为明暗相间图案,该激光干涉图案化光场作为装置所用光源,激光干涉系统由一个1:2分光透镜(21),一个1:1分光透镜(23)、两个特制透镜(24、28),四个全反镜(22、25、26、27)组成,作用是将激光分为三束频率相同,相位差恒定,振动方向一致的光,并使之发生干涉,产生所需干涉图案,两个特制透镜分别为第一特制透镜(24)和第二特制透镜(28),四个全反镜(22、

25、26、27)分别为第一全反镜(22),第二全反镜(25),第三全反镜(26)和第四全反镜(27);

光学系统(2)由两个正透镜(31、32)和一个反射镜(33)组成,作用是汇聚光强,并将激光干涉图案化光场的亮图案尺寸调节到与操控微粒直径相近,两个正透镜(31、32)分别为第一正透镜(31)和第二正透镜(32);光诱导介电泳芯片(3)固定于三自由度可调的三维微位移平台,分为下层和上层,下层从下到上依次为第一玻璃片(42)、第一导电层(43)、光敏层(44),上层从上到下依次为第二玻璃片(45)、第二导电层(46);其中,1:2分光透镜是将光分为两束光强为1:2的光的透镜,1:1分光透镜为将光分为两束光强相同的光的透镜;

其中,第一特制透镜(24)和第二特制透镜(28)的正面为反射膜,45°角入射时反射率达到93%,其背面为增透膜,45°角入射时透过率达到93%,特制透镜厚度不超过1mm。

2.根据权利要求1所述的激光干涉图案化光场作为光源的光诱导介电泳装置,其特征是:第一导电层(43)、第二导电层(46)为氧化铟锡膜,厚度为100nm—140nm,光敏层(44)为氢化非晶硅膜,厚度为450nm—550nm。