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专利号: 2017107893275
申请人: 广西师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种石墨烯‑半导体双脊型混合表面等离子波导结构,其特征是,包括自下而上顺序叠接的二氧化硅基底、二氧化硅缓冲层和高折射率半导体层,所述二氧化硅缓冲层中自下而上设有顺序叠接的脊型金属纳米层、矩形耦合层和倒脊型纳米层,脊型金属纳米层的底部与二氧化硅缓冲层的上表面叠接,倒脊型纳米层与高折射率半导体层的下表面叠接,所述脊型金属纳米层为Ag金属层;所述矩形耦合层为石墨烯材料层;所述高折射率半导体层和倒脊型纳米层构成InGaAsP层。