1.一种基于菲涅尔矩阵THz波传播模型的涂层厚度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、从电磁场理论模型出发，根据对涂层厚度进行检测时使用的反射式THz时域光谱系统建立正入射THz波在多层介质结构中的反射式传播一维电场模型，在此基础上引入菲涅耳系数矩阵与相位矩阵，提出菲涅尔矩阵THz波传播模型，并对该模型进行验证；

步骤一具体包括以下过程：

1.1)从电磁场理论模型出发，根据对涂层厚度进行检测时使用的反射式THz时域光谱系统建立正入射THz波在多层介质结构中的反射式传播一维电场模型：由电磁场理论可知，正入射THz波在多层介质结构中进行反射式传播时，接收器接收到的太赫兹波可表示为：ER(ω)＝E01(ω)+E12(ω)+…+Ei-1,i(ω)+Ei,i+1(ω)+…+Em,sub(ω)    (a)多层介质的反射式传递函数可表示为：式(a)、式(b)中，Ei-1,i(ω)表示由第i层介质材料上表面返回的太赫兹波，Ei,i+1(ω)表示由第i层介质材料下表面返回的太赫兹波，Eref(ω)表示入射太赫兹波；

得到正入射THz波在多层介质结构中的反射式传播一维电场模型：ER(ω)＝HR(ω)×Eref(ω)    (c)

1.2)引入菲涅耳系数矩阵法，根据光学薄膜理论，将第i层介质内的总的电场强度表示为：Ei＝{EiFexp[ωt-k0ni(z-dj-1)]+EiRexp[ωt+ik0ni(z-dj-1)]}    (d)式(d)中，ni、di为第i层介质的折射率与厚度，k0为真空中的波矢，EiFexp[ωt-k0ni(z-dj-1)]为正向传播电矢量，EiRexp[ωt+ik0ni(z-dj-1)]为反向传播电矢量；

第i层介质内的电矢量振幅可以表示为第i+1层介质的电矢量振幅矩阵关系：其中，δi＝k0×nidi为光经过几何厚度为di的第i层介质产生的相位差；

将式(e)改写为：

其中， 为菲涅尔矩阵，ti,i+1和ri,i+1分别为第i层介质与第i+1层介质的交界面处的菲涅尔透射系数和反射系数；

在反射式太赫兹传播模型中，将矩阵Ti分成两项，其中一项Fi,i+1为菲涅尔系数矩阵，Pi为相位矩阵，分别表示为： 其中， 为第i层介质的复折射率，di为第i层介质的厚度；

对于m层介质而言，其总的菲涅尔矩阵MTotal可以写为，

其中，反射式传递函数、透射式传递函数可表示为：

引入矩阵形式的反射式传递函数后，正入射THz波在多层介质结构中反射式传播一维电场模型中，反射太赫兹脉冲ER(t)可写为式(c)的傅里叶逆变换，即得到菲涅尔矩阵THz波传播模型：

1.3)将通过仿真得到的波形与实测波形进行比较，对所建立的菲涅尔矩阵THz波传播模型进行验证；

步骤二、利用基于菲涅尔矩阵THz波传播模型的最小二乘厚度优化方法实现涂层厚度的定量检测，对涂层厚度通过迭代优化进行求解，使得仿真结果与测量结果差值的最小残差平方和最小，实现对厚度参数的高精度优化；

步骤三、引入THz发射器与被测件之间的距离参数DTS，并对THz发射器与被测件之间的距离误差进行可视化处理，以便对测量误差因素进行调整和分析，从而进一步提高涂层厚度检测的准确性。

2.如权利要求1所述的一种基于菲涅尔矩阵THz波传播模型的涂层厚度检测方法，其特征在于，所述步骤二具体包括以下过程：

2.1)采用所述步骤一建立的菲涅尔矩阵THz波传播模型，将其仿真波形转换至时域，以时域信号中每一点与实际检测太赫兹时域信号的每一点做对应，可以得到T/Δt个相应的方程，其中T为时间窗口长度，Δt为时域信号的时间间隔分辨率，对于未知数厚度d的求解而言，方程组属于冗余方程组，可通过最小二乘函数f(d)进行求解：每一层介质厚度的提取可通过迭代优化求解di，使得测量与仿真差值的最小化残差平方和最小。

3.如权利要求2所述的一种基于菲涅尔矩阵THz波传播模型的涂层厚度检测方法，其特征在于，所述步骤三具体包括以下过程：

3.1)引入THz发射器与被测件之间的距离参数DTS：在所述菲涅尔矩阵THz波传播模型表达式(h)的基础上引入THz发射器与被测件之间的距离参数DTS，重新构建优化函数：

3.2)对THz发射器与被测件之间的距离误差进行可视化处理，以便对测量误差因素进行调整和分析，同时确定基于菲涅尔矩阵THz波传播模型的涂层高精度厚度检测方法的分辨率Δd：式(k)中，c为光速，δt为太赫兹时域光谱系统采集的THz时域波形的时间间隔，δt取

0.1ps；ns为检测样品的折射率。