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专利号: 2017110435728
申请人: 南京旭羽睿材料科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-02-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种石墨烯生长保护装置,包括底座(2),其特征在于,所述底座(2)的上端固定有炉体(20),所述炉体(20)的内部设有空腔,所述空腔内从上至下依次设有加热器(19)、传热网(4)与冷却器(3),所述加热器(19)的内部设有石英管(12),所述石英管(12)的两端均贯穿加热器(19)并分别连接有真空法兰(11)与连接法兰(14),所述连接法兰(14)远离石英管(12)的一端连通有输气管(13)、冷却气体出管(15)、冷却气体进管(16)与压力表(18),所述石英管(12)的两端套设有第一安装板(21)与第二安装板(30),所述炉体(20)的两侧均通过锁紧螺钉固定有支撑板(5),两个所述支撑板(5)的上端均固定有安装架(10),且两个安装架(10)的上端分别套接在石英管(12)的两端,两个所述安装架(10)与第一安装板(21)、第二安装板(30)之间均设有连接杆(22),所述连接杆(22)的两端均套设有限位装置(23);

所述冷却器(3)通过锁紧螺钉固定在空腔内的底端侧壁上;

所述输气管(13)、冷却气体出管(15)与冷却气体进管(16)上均设有阀门(17);

所述底座(2)的下端设有行走机构(1),所述行走机构(1)采用万向轮;

所述限位装置(23)包括第一限位板(24)与第二限位板(25),所述第一限位板(24)与第二限位板(25)靠近连接杆(22)的一侧设有橡胶板(29),所述第一限位板(24)与第二限位板(25)的两端分别设有第一限位块(26)与第二限位块(27),所述第一限位块(26)与第二限位块(27)之间设有限位杆(28),所述第一限位块(26)与第二限位块(27)的内部均设有与限位杆(28)对应的螺孔,两个所述螺孔内分别设有方向相反的螺纹,所述限位杆(28)的两端分别贯穿两个螺孔,且限位杆(28)与第一限位块(26)、第二限位块(27)之间均为螺纹连接;

所述支撑板(5)的内部设有通槽,所述通槽内设有固定杆(6),所述通槽内侧壁上设有与固定杆(6)螺纹连接的内螺纹,所述固定杆(6)的下端贯穿通槽并连接有固定块(7),所述固定块(7)与支撑板(5)之间设有弹簧(8),所述固定杆(6)的两端均贯穿通槽,且固定杆(6)的上端套设有橡胶圈(9),所述固定杆(6)的下端与固定块(7)之间转动连接。

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