1.一种光纤法珀传感器,其特征在于,包括:
中空管体,其具有沿着轴线方向依次布置的第一管体、空腔部和第二管体,并且所述第一管体、所述空腔部和所述第二管体连续地形成;
第一光纤,其沿着所述轴线方向熔接于所述第一管体内,所述第一光纤具有设置在所述空腔部内的第一导光端面;以及第二光纤,其沿着所述轴线方向熔接于所述第二管体内,所述第二光纤具有设置在所述空腔部内的第二导光端面,所述第一导光端面与所述第二导光端面相隔预设距离而相对设置,所述空腔部的内径大于所述第一管体和所述第二管体当中的任一个管体的内径。
2.一种光纤法珀传感器,其特征在于,包括:
中空管体,其具有沿着轴线方向依次布置的第一管体、空腔部和第二管体,并且所述第一管体、所述空腔部和所述第二管体连续地形成;
第一光纤,其具有与所述第一管体的端部相熔接的第一导光端面;以及第二光纤,其具有与所述第二管体的端部相熔接的第二导光端面,所述第一导光端面与所述第二导光端面隔着所述中空管体而相对设置,并且所述空腔部的内径大于所述第一管体和所述第二管体当中的任一个管体的内径。
3.如权利要求1或2所述的光纤法珀传感器,其特征在于,所述第一光纤熔接于所述第一管体,所述第二光纤熔接于第二管体。
4.如权利要求1或2所述的光纤法珀传感器,其特征在于:所述第一光纤和所述第二光纤为单模光纤、多模光纤、保偏光纤或光子晶体光纤。
5.如权利要求1或2所述的光纤法珀传感器,其特征在于:所述第一管体、所述空腔部和所述第二管体连续地形成,并且所述第一管体的中心对称轴与所述第二管体的中心对称轴重合。
6.如权利要求1或2所述的光纤法珀传感器,其特征在于:所述第一光纤的所述第一导光端面与所述轴线方向垂直,并且所述第二光纤的所述第二导光端面与所述轴线方向垂直。
7.如权利要求1或2所述的光纤法珀传感器,其特征在于:所述中空管体具有中心对称线,所述空腔部绕着所述中心对称线而形成为旋转对称结构。
8.如权利要求1或2所述的光纤法珀传感器,其特征在于:在所述中空管体中,在所述第一管体与所述第二管体之间布置有两个以上的所述空腔部。
9.如权利要求3所述的光纤法珀传感器,其特征在于:所述第一光纤与所述中空管体形成有第一熔接处,所述第二光纤与所述中空管体形成有第二熔接处。
10.如权利要求1或2所述的光纤法珀传感器,其特征在于:所述第一管体、所述空腔部与所述第二管体一体成型。
11.如权利要求1或2所述的光纤法珀传感器,其特征在于:所述中空管体为石英玻璃管、耐高温玻璃管、空心光纤或光子晶体光纤。
12.一种光纤法珀传感器的制造方法,其特征在于:包括:
准备中空管体,并且对位于所述中空管体预设部位的壁厚进行减薄;
在所述中空管体填入热膨胀性物质,密封所述中空管体的两端;
对所述中空管体进行加热,使所述预设部位热膨胀而形成空腔部,由此形成包括依次布置的第一管体、所述空腔部和第二管体的中空管体;
将第一光纤固定于所述第一管体,将第二光纤固定于所述第二管体,并且使所述第一光纤的第一导光端面与所述第二光纤的第二导光端面设置在所述空腔部内且相隔预设距离。
13.一种光纤法珀传感器的制造方法,其特征在于:包括:
准备中空管体,并且对位于所述中空管体预设部位的壁厚进行减薄;
在所述中空管体填入热膨胀性物质,密封所述中空管体的两端;
对所述中空管体进行加热,使所述预设部位热膨胀而形成空腔部,由此形成包括依次布置的第一管体、所述空腔部和第二管体的中空管体;
将第一光纤的端面固定于所述第一管体的端部,将第二光纤的端面固定于所述第二管体的端部,并且使所述第一光纤的端面与所述第二光纤的端面相对。
14.如权利要求12或13所述的光纤法珀传感器的制造方法,其特征在于:所述热膨胀性物质为空气、惰性气体或易气化物质。
15.如权利要求12或13所述的光纤法珀传感器的制造方法,其特征在于:所述减薄是通过腐蚀、激光、等离子或喷砂的加工方法来实现的。
16.如权利要求12或13所述的光纤法珀传感器的制造方法,其特征在于:所述减薄的步骤包括:
对所述中空管体的所述预设部位的外壁进行图案化,以在所述预设部位形成刻蚀窗口;并且对图案化后的所述中空管体进行刻蚀,以在所述预设部位形成凹槽结构,从而使所述预设部位的壁厚小于所述预设部位周围的壁厚。
17.如权利要求16所述的光纤法珀传感器的制造方法,其特征在于:所述图案化的步骤包括:
在所述中空管体的外壁涂覆保护层;
将涂覆有保护层后的所述中空管体绕着所述中空管体的中心轴旋转并进行掩膜刻蚀;
并且
对所述保护层进行显影,去除所述预设部位的保护层。