1.一种单层阻变膜忆阻器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,制备Bi(1-x)CaxFeO3-x/2混合物靶材,具体步骤如下:(1)、原料混合:
将Bi2O3、CaCO3和Fe2O3,按(1-x)∶2x∶1的摩尔比混合,其中,0.0001≤x≤0.03;
加入去离子水或无水乙醇,入磨机粉磨至颗粒物粒径在0.08mm以下;
取出、烘干,得到混合料;
(2)、造粒:
将上述混合料进行造粒:按待造粒混合料质量的2-5%,加入质量百分比浓度为2-5%的聚乙烯醇溶液,拌和均匀后,过40目筛进行造粒;
(3)、Bi(1-x)CaxFeO3-x/2混合物靶材的压制成型:将经过造粒后的物料置于压片机上压制成块;然后,将所得块状物料切割成直径为20-
150mm,厚度为2-50mm的圆片,即得Bi(1-x)CaxFeO3-x/2混合物靶材;
第二步,选取下电极:
所选取的下电极为复合层结构,自上向下依次包括Pt层、TiO2层、SiO2层和Si基片层;
第三步,将所得到的Bi(1-x)CaxFeO3-x/2混合物靶材,采用脉冲激光方法或磁控溅射方法沉积在上述下电极的上表面上;
第四步,以材质为Au、Ag或Pt的靶材,采用热喷涂方法,将Au、Ag或Pt沉积在所述第三步得到的Bi(1-x)CaxFeO3-x/2薄膜上,得到上电极;
最后,在700-900℃下热处理10-30分钟,得到化学成分为Bi(1-x)CaxFeO3-x/2的单层陶瓷纳米薄膜,即得单层纳米阻变膜忆阻器。
2.根据权利要求1所述的一种单层阻变膜忆阻器的制备方法,其特征在于,所述上电极的厚度为10nm-50um。
3.根据权利要求1所述的一种单层阻变膜忆阻器的制备方法,其特征在于,所述单层陶瓷纳米薄膜的厚度为10-990nm。