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专利号: 2017112211882
申请人: 山东科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单层阻变膜忆阻器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,制备Bi(1-x)CaxFeO3-x/2混合物靶材,具体步骤如下:(1)、原料混合:

将Bi2O3、CaCO3和Fe2O3,按(1-x)∶2x∶1的摩尔比混合,其中,0.0001≤x≤0.03;

加入去离子水或无水乙醇,入磨机粉磨至颗粒物粒径在0.08mm以下;

取出、烘干,得到混合料;

(2)、造粒:

将上述混合料进行造粒:按待造粒混合料质量的2-5%,加入质量百分比浓度为2-5%的聚乙烯醇溶液,拌和均匀后,过40目筛进行造粒;

(3)、Bi(1-x)CaxFeO3-x/2混合物靶材的压制成型:将经过造粒后的物料置于压片机上压制成块;然后,将所得块状物料切割成直径为20-

150mm,厚度为2-50mm的圆片,即得Bi(1-x)CaxFeO3-x/2混合物靶材;

第二步,选取下电极:

所选取的下电极为复合层结构,自上向下依次包括Pt层、TiO2层、SiO2层和Si基片层;

第三步,将所得到的Bi(1-x)CaxFeO3-x/2混合物靶材,采用脉冲激光方法或磁控溅射方法沉积在上述下电极的上表面上;

第四步,以材质为Au、Ag或Pt的靶材,采用热喷涂方法,将Au、Ag或Pt沉积在所述第三步得到的Bi(1-x)CaxFeO3-x/2薄膜上,得到上电极;

最后,在700-900℃下热处理10-30分钟,得到化学成分为Bi(1-x)CaxFeO3-x/2的单层陶瓷纳米薄膜,即得单层纳米阻变膜忆阻器。

2.根据权利要求1所述的一种单层阻变膜忆阻器的制备方法,其特征在于,所述上电极的厚度为10nm-50um。

3.根据权利要求1所述的一种单层阻变膜忆阻器的制备方法,其特征在于,所述单层陶瓷纳米薄膜的厚度为10-990nm。