1.一种齿轮齿廓微观形貌测量装置,其特征在于:包括基座,所述基座上分别设置有夹紧机构、水平检测机构、微观形貌测量仪,
所述夹紧机构包括底座、左夹紧板、右夹紧板,所述左夹紧板、右夹紧板均设置在底座上且呈左右相对设置,所述右夹紧板固定在底座上,所述左夹紧板滑动设置在底座上,通过第一驱动机构驱动所述左夹紧板沿着左右方向来回滑动,实现齿轮的夹紧或松开;所述底座还连接有驱动底座竖直升降的升降机构、带动底座上下摆动的摆动机构、带动底座沿前后方向移动的水平调整机构;
所述水平检测机构设置于基座上且位于底座的一侧,所述水平检测机构包括立柱、横杆、移动环、伸缩杆、软体检测块,所述立柱包括两个,两个立柱设置在基座上,两个立柱顶端横跨设置有横杆,所述横杆沿着左右方向延伸,所述移动环滑动套装在横杆上且能沿着横杆左右移动,所述伸缩杆上端连接移动环、下端连接软体检测块,检测时,通过移动环的左右移动来带动软体检测块同步移动,实现软体检测块在齿轮齿廓表面左右移动来检测齿轮齿廓的水平度;
所述微观形貌测量仪设置于基座上且位于底座的一侧,所述微观形貌测量仪的色谱共焦测头悬伸于左夹紧板、右夹紧板之间的齿轮上方。
2.如权利要求1所述的一种齿轮齿廓微观形貌测量装置,其特征在于:所述升降机构包括上下相对设置的上板和下板,所述下板设置在基座上,所述底座设置在上板上,所述上板和下板之间设置有两组连杆机构,两组连杆机构呈左右对称设置,每组连杆机构包括呈X形铰接的第一连杆和第二连杆,所述下板上设置有驱动第一连杆转动的电机,所述电机的输出轴与第一连杆的下端固定连接,所述上板上开有沿前后方向延伸的第一滑槽,所述第一连杆的上端与上板的第一滑槽滑动连接,所述第二连杆上端铰接在上板下端,所述下板上开有沿前后方向延伸的第二滑槽,所述第二连杆下端与下板的第二滑槽滑动连接。
3.如权利要求2所述的一种齿轮齿廓微观形貌测量装置,其特征在于:两组连杆机构的第一连杆和第二连杆中部通过同一个铰接轴铰接。
4.如权利要求1所述的一种齿轮齿廓微观形貌测量装置,其特征在于:所述摆动机构包括两个支座、两个转轴、第二驱动机构,两个支座分别设置在底座的前后两侧,两个转轴分别设置在两个支座和底座之间,两个转轴同轴心且轴心线沿前后方向延伸,所述转轴外端与支座转动连接、内端与底座固定连接,所述第二驱动机构设置在底座下方,通过所述第二驱动机构驱动底座的左端或右端沿转轴旋转一定角度。
5.如权利要求1所述的一种齿轮齿廓微观形貌测量装置,其特征在于:所述水平调整机构包括滑板,所述滑板设置在上板上方,所述上板左端设有一个向上凸出的挡板,所述挡板上开有多个通孔,所述滑板左端开有螺纹孔,通过螺钉穿过挡板上的通孔后旋入滑板的螺纹孔中,实现滑板与上板的固定,通过选择不同位置的通孔,能调整滑板与上板在前后方向上的相对位置。
6.如权利要求1所述的一种齿轮齿廓微观形貌测量装置,其特征在于:所述夹紧机构中,所述左夹紧板、右夹紧板上分别开有水平槽口,两个水平槽口上插入设置有一个用于支撑齿轮的移动板,所述水平槽口在竖直方向上的尺寸大于移动板的厚度。
7.如权利要求1所述的一种齿轮齿廓微观形貌测量装置,其特征在于:所述第一驱动机构为第一气缸。
8.如权利要求4所述的一种齿轮齿廓微观形貌测量装置,其特征在于:所述第二驱动机构为第二气缸。