1.一种用于安装气体传感器的柔性衬底,其用于在其中安装气体传感器芯片,其特征在于,包括在柔性衬底中形成的凹槽,所述柔性衬底中凹槽的底面设置第一金属层,所述第一金属层上设置柔性介电材料层,在柔性介电材料层上设置第二金属层,在所述第二金属层上设置绝缘层,所述第一金属层和所述第二金属层在竖直方向上的投影形状相同形成电容器,在凹槽四周的柔性衬底材料中埋设金属线圈,所述金属线圈以凹槽为中心,金属线圈形成为电感,所述凹槽中用于设置阵列气体传感器;
所述电感一端连接至第二金属层,第二金属层作为电感、阵列气体传感器和电容器的公共电极;
所述凹槽的形状为圆形,所述金属线圈的形状也为圆形,并且两个圆形的中心点重合;
所述金属线圈至所述凹槽侧壁的距离为所述凹槽半径的1/10-1/5;
在所述金属线圈与所述凹槽侧壁中间柔性衬底材料中设置金属细电极,所述金属细电极分别连接阵列气体传感器;
所述凹槽的半径尺寸大于所述凹槽厚度的6倍以上;
所述柔性衬底中添加高介电氧化物材料颗粒,所述高介电氧化物材料颗粒的粒径介于
500nm-1500nm之间;所述高介电氧化物材料颗粒的材料选自钛酸钙、钛酸镁、钛酸钡、氧化铝中的一种或多种材料组成的组。