1.一种键合丝的退火装置，包括设置于所述退火装置(1)内、用于键合丝(3)通过的腔体(2)，所述腔体(2)的外周面设置有用于加热所述腔体(2)的加热丝(4)，其特征在于，所述腔体(2)内壁上设置有若干用于感应所述腔体(2)内部温度的感温装置(5)。

2.根据权利要求1所述的键合丝的退火装置，其特征在于，所述感温装置(5)为感温棒。

3.根据权利要求1所述的键合丝的退火装置，其特征在于，所述退火装置(1)的所述腔体(2)根据所述键合丝(3)对退火温度的要求划分为前部(21)、中部(22)和尾部(23)。

4.根据权利要求3所述的键合丝的退火装置，其特征在于，所述腔体(2)的前部(21)、中部(22)和尾部(23)均设置有感温装置(5)。

5.根据权利要求1所述的键合丝的退火装置，其特征在于，所述腔体(2)为陶瓷材质。