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专利号: 201810007648X
申请人: 华侨大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于金属腔的表面等离激元激光器,其特征在于,该激光器包括表面等离激元波导和金属腔;所述表面等离激元波导包括依次层叠设置的透明衬底层、金属薄膜层、第一绝缘介质层、增益介质层、第二绝缘介质层和金属厚膜层;所述金属腔是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元波导中作为激光器的谐振腔,所述金属腔由垂直金属反射镜组成,并且由金属厚膜层延伸至透明衬底层。

2.根据权利要求1所述的表面等离激元激光器,其特征在于,所述金属厚膜层、金属薄膜层以及金属腔的材料为金、银、铝、铜中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的表面等离激元激光器,其特征在于,所述绝缘介质层为二氟化镁、三氧化二铝、二氧化硅、氟化锂其中之一。

4.根据权利要求1所述的表面等离激元激光器,其特征在于,所述绝缘介质层的厚度为

5~50nm。

5.根据权利要求1所述的表面等离激元激光器,其特征在于,所述增益介质层是由发光半导体制作的半导体纳米带、半导体纳米线、半导体量子点、或者掺有激光染料分子的介质其中之一。

6.根据权利要求1所述的表面等离激元激光器,其特征在于,所述金属腔为平行平面腔、凹凸腔、平凹腔、圆形腔和多边形腔其中之一。