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专利号: 2018100320313
申请人: 凝辉(天津)科技有限责任公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2025-04-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.二维扫描器件,包括驱动器和镜面,驱动器用于根据指令改变镜面的角度,其特征在于:所述镜面包括若干二向色镜,所述二向色镜用于反射激光并可供非线性光学信号穿过,所述驱动器包括若干可供非线性光学信号透射过的镜体,二向色镜分别固定于镜体上。

2.根据权利要求1所述的二维扫描器件,其特征在于:所述二向色镜包括超薄片,所述超薄片上镀有二向色薄膜。

3.根据权利要求1所述的二维扫描器件,其特征在于:所述镜体为环形,二向色镜固定在镜体的表面。

4.根据权利要求1所述的二维扫描器件,其特征在于:还包括基片,驱动器固定在基片上,所述基片上与二向色镜对应的位置的背面通过深反应离子蚀刻技术蚀刻掏空。

5.根据权利要求4所述的二维扫描器件,其特征在于:所述基片的材质为高分子聚合物。

6.根据权利要求1所述的二维扫描器件,其特征在于:所述二向色镜的形状为六边形或圆盘形。