1.一种用于真空中钎焊碳化硅陶瓷的复合钎料,其特征在于:所述复合钎料由银铜钛钎料及碳化铬构成;所述银铜钛钎料中含有银68.8wt.%、铜
26.7wt.%以及钛4.5wt.%;碳化铬的体积为所述复合钎料总体积的5~20vol.%;
所述银铜钛钎料为粉末状,粒度为100~300目;
所述碳化铬为粉末状,粒度为0.8~10μm;
银铜钛钎料及碳化铬的纯度均≥99%。
2.一种权利要求1所述的用于真空中钎焊碳化硅陶瓷的复合钎料的钎焊工艺,其特征在于包括如下步骤:步骤1:制备钎料悬浮液
将配比量的银铜钛钎料以及碳化铬混合并球磨1~5h,获得混合均匀的钎料粉末;向所述钎料粉末中加入分析纯酒精并磁力搅拌,得到钎料悬浮液;
步骤2:焊前准备
用金刚石切片机将碳化硅切割成一定形状的待焊材料,然后用抛光液对碳化硅陶瓷的待焊接表面进行抛光,抛光后置于丙酮溶液中超声清洗,最后用酒精冲洗并吹干,得到待焊陶瓷母材;
步骤3:装配
按照待焊陶瓷母材、钎料悬浮液、待焊陶瓷母材的顺序进行装配,装配完成后置于真空钎焊炉中;
步骤4:钎焊
在真空度10-2Pa以下,升温至787~867℃并保温5~30min,随后降至室温,出炉;
步骤1中,分析纯酒精的添加质量为钎料粉末质量的70~80wt%;
步骤1中,球磨时,球磨机转速为200转/分;以正转30分、停5分、逆转30分为一个周期,球磨1~3个周期。
3.根据权利要求2所述的钎焊工艺,其特征在于:步骤2中,所述抛光液为1~3.5μm的金刚石抛光悬浮液。
4.根据权利要求2或3所述的钎焊工艺,其特征在于:步骤2中,用抛光液对碳化硅陶瓷的待焊接表面进行抛光时,抛光机的转速为100转/分,以30分钟为一个周期,首先使用3.5μm抛光液抛光两个周期,然后再用1μm抛光液抛光两个周期。
5.根据权利要求2所述的钎焊工艺,其特征在于:步骤4中,首先以5~15℃/min的升温速率升温至500℃,然后再以3~10℃/min的升温速率升温至787~867℃。
6.根据权利要求2所述的钎焊工艺,其特征在于:步骤4中,首先以10~15℃/min的降温速率降至300℃,然后以2~3℃/min的降温速率降至150℃,后随炉冷却至室温。