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专利号: 2018101090179
申请人: 沈阳大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-11-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶界调控n型碲化铋薄膜性能的方法,其特征在于,所述方法包括以下过程:第一步以商用Bi2Te3靶和Te靶为靶材,采用磁控溅射技术在加热基底上制备n型Bi2Te3薄膜;

第二步以商用Sn为原料,采用蒸发技术,在n型Bi2Te3的表面镀上Sn薄膜;

第三步采用保护气退火炉对镀Sn薄膜后的n型Bi2Te3薄膜在高温下退火后,随炉冷却;

上述第一步薄膜制备过程中:加热基底的温度为573K 623 K;商用Bi2Te3靶和Te靶的~

纯度均为99.99wt%;Bi2Te3靶和Te靶为圆型靶或矩形靶;Bi2Te3靶和Te靶分别使用独立的溅射电源,Bi2Te3靶采用直流或射频电源,Te靶采用射频或直流电源,Bi2Te3靶和Te靶以共溅射形式同时工作;加热基底为玻璃片或硅片;n型Bi2Te3薄膜厚度为760nm;

上述第二步薄膜制备过程中:蒸发为电子束蒸发或热蒸发或激光蒸发;商用Sn的纯度为99.99wt%;蒸发的Sn薄膜厚度为1nm 15nm;

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上述第三步退火过程中:保护气为95%氩气+5%氢气或纯氩气;退火温度为573 K;保护气气压大于大气压;退火时间为0.5h 2h。

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