1.一种刻蚀电极，其特征在于，包括：

电极主体，包括底座和位于底座上的凸起电极，所述凸起电极顶部为电极表面，所述底座与凸起电极之间具有环形凹槽；

环绕电极主体的内外套嵌设置的至少一个遮挡环，所述至少一个遮挡环位于所述环形凹槽内；

驱动器，与所述遮挡环连接，用于控制各个遮挡环在垂直电极表面的方向上进行上升和下降运动，其中，上升时，所述遮挡环向电极表面方向运动，下降时，所述遮挡环向底座方向运动。

2.根据权利要求1所述的刻蚀电极，其特征在于，位于最内圈的遮挡环的内径与凸起电极的外径相同。

3.根据权利要求1所述的刻蚀电极，其特征在于，所述遮挡环的材料为阳极氧化铝。

4.根据权利要求1所述的刻蚀电极，其特征在于，当包括两个以上遮挡环时，各个遮挡环的宽度相同。

5.根据权利要求1所述的刻蚀电极，其特征在于，所述驱动器为步进马达。

6.根据权利要求1所述的刻蚀电极，其特征在于，所述驱动器用于控制遮挡环上升运动至上升状态，所述遮挡环位于上升状态时，所述遮挡环的表面与电极表面齐平。

7.根据权利要求6所述的刻蚀电极，其特征在于，工作状态时，当一外圈遮挡环位于上升状态时，位于所述外圈遮挡环内圈的遮挡环均处于上升状态。

8.根据权利要求1所述的刻蚀电极，其特征在于，所述遮挡环为可拆卸的设置于所述凹槽内。

9.一种边缘刻蚀装置，其特征在于，包括：

两个如权利要求1至8中任一项所述的刻蚀电极，分别作为上电极和下电极；

所述上电极和下电极相对设置。

10.根据权利要求9所述的边缘刻蚀装置，其特征在于，所述上电极的遮挡环和下电极的遮挡环的运动状态相互独立控制。