欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2018101629466
申请人: 温州职业技术学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种线材类金刚石涂层加工装置,其特征在于:包括有用于线材放线和收线连接的放线卷和收线卷、以及设置于放线卷和收线卷之间用于在线材上加工类金刚石涂层的类金刚石涂层放电管,所述的类金刚石涂层放电管包括有放电管主体,该放电管主体包括有磁靴环、绝缘套管、电极和水冷套,靶材为环形靶材,该环形靶材的轴向一端为线材进线口,环形靶材的轴向另一端为线材出线口,环形靶材的内部空腔构成气体电离区,所述环形靶材是由多组金属基片瓦表面复合石墨片构成,所述的水冷套环形套设于环形靶材的外侧并构成热交换连接,绝缘套管套接设置于水冷套的外侧,所述的磁靴环转动套设于绝缘套管的外侧,且该磁靴环内装配有多组磁铁,还包括有用于驱动磁靴环在绝缘套管上转动的磁靴环转动驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种线材类金刚石涂层加工装置,其特征在于:所述的磁靴环转动驱动机构包括有联动套设固定于磁靴环上的磁靴转动齿,该磁靴转动齿外接传动动力单元实现磁靴环的转动驱动。

3.根据权利要求1所述的一种线材类金刚石涂层加工装置,其特征在于:所述靶材的金属基片瓦为钛、铬、钨中的一种或其合金。

4.根据权利要求1所述的一种线材类金刚石涂层加工装置,其特征在于:还包括有绝缘封头套和屏蔽环,绝缘封头套装在水冷套的轴向两端使水冷套与屏蔽环之间绝缘,屏蔽环套装在绝缘封头套上,其电位为悬浮电位。

5.根据权利要求1所述的一种线材类金刚石涂层加工装置,其特征在于:磁靴环包括有一个或多个整体为环形的磁靴,其中多个磁靴在类金刚石涂层放电管的轴向依次拼接。

6.根据权利要求5所述的一种线材类金刚石涂层加工装置,其特征在于:所述的磁靴环的磁铁的装配方式构成环切面平行闭合磁场,该环切面平行闭合磁场的磁铁磁极面为平行于类金刚石涂层放电管横截面,其在环切面形成平行于环切面的闭合磁场。

7.根据权利要求5所述的一种线材类金刚石涂层加工装置,其特征在于:所述的磁靴环的磁铁的装配方式构成轴向平行闭合磁场。

8.根据权利要求5所述的一种线材类金刚石涂层加工装置,其特征在于:所述的磁靴环的磁铁的装配方式构成复合磁场,该复合磁场内每一片磁靴内间隔放置不同极性的磁铁,相邻磁靴与之对应的位置同样放置与之极性相反或相同的磁铁,其在放电管内形成即有平行于环切面的平行闭合磁场,又有平行于放电管纵向的平行闭合磁场,称之为复合磁场。