1.偏振无关的三维集成双层光栅耦合器,包括
两个一维的光栅耦合器:由顶层光栅和底层光栅分别位于上下两个波导层中,两层光栅的方向相互正交组成。顶层光栅作为与单模光纤相连的光耦合接口,底层光栅位于顶层光栅的垂直下方,作为底层波导层的光耦合接口;
一个隔离层:隔离层位于顶层光栅和底层光栅之间,作为顶层光栅的下包层同时也是底层光栅的上包层;
一个埋氧层:埋氧层位于底层光栅和硅衬底之间,作为底层光栅的下包层;
一个双介质包层结构:由相较顶层波导材料折射率较低的两层材料组成,位于顶层光栅的上方,用于抑制顶层光栅对入射光的向上反射。
2.根据权利要求1所述的偏振无关的三维集成双层光栅耦合器,两个单向的光栅耦合器中光栅结构都为变迹光栅结构,由啁啾光栅部分和均匀光栅部分组成。其中啁啾光栅部分用来形成类高斯型输出场,与光栅耦合器的模场匹配以提高耦合效率。均匀光栅部分功能为光栅布拉格反射器,用以保证光栅的单向耦合特性。
3.所述的偏振无关的三维集成双层光栅耦合器,由顶层光栅和底层光栅分别位于上下两个波导层中,两层光栅的方向相互正交组成,其垂直方向上正交交叠部分为啁啾光栅部分。光输入输出耦合时,光纤位置中心均位于啁啾光栅部分。
4.根据权利要求1所述的偏振无关的三维集成双层光栅耦合器,其中隔离层位于顶层光栅和底层光栅之间,作为顶层光栅的下包层同时也是底层光栅的上包层,与硅衬底和底层光栅共同构成了SOI结构。
5.根据权利要求1所述的偏振无关的三维集成双层光栅耦合器,其中埋氧层位于底层光栅和硅衬底之间,作为底层光栅的下包层将衬底和底层光栅隔离,同时埋氧层也是底层光栅的上包层,使得底层光栅的向上反射减少向下透射增加。
6.根据权利要求1所述的偏振无关的三维集成双层光栅耦合器,双介质包层结构由相较顶层波导材料折射率较低的两层材料组成。第一层用作折射率匹配层,第二层为整个光栅耦合器结构提供良好的抗反射性能。通过双介质包层结构,将向上光反射损耗抑制到最低。