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专利号: 2018101950599
申请人: 淮阴工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1,制备纳米环状周期性结构的光刻胶母板,所述光刻胶母板上具有至少一个纳米环状周期性结构的图案,且各所述纳米环状周期性结构中均具有若干圆形或椭圆形的纳米环;

S2,使用所述光刻胶母板通过软纳米压印光刻技术制备纳米环状周期性结构的柔性转移模板;

S3,采用溶胶凝胶法在玻璃基板上旋涂氧化锌前聚体溶液;

S4,将所述柔性转移模板置于已经旋涂成膜的氧化锌前聚体上,加热加压后移除所述柔性转移模板,得氧化锌薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于:在所述S1中,所述光刻胶母板的制作步骤为:采用变频干涉光刻方法在厚度为800 nm正性光刻胶上曝光,然后在浓度为0.4%的氢氧化钠溶液中显影,得到所述光刻胶母板。

3.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于:在所述S2中,将紫外光固化胶滴涂在所述光刻胶母板上,然后在所述紫外光固化胶上放置聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜,施加压力的同时,采用351 nm的紫外光固化10 min,移除所述光刻胶母板,所述光刻胶母板上的纳米环状周期性结构转移到所述紫外光固化胶上,得所述柔性转移模板。

4.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于:在所述S3中,所述氧化锌前聚体溶液的制备步骤为:将2 ml的甲氧基乙醇和220 mg的二水乙酸锌以及61μL的乙醇胺溶液放置于配液瓶中,再放入磁力搅拌子搅拌4h,得到所述氧化锌前聚体溶液。

5.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于:在所述S4中,将所述柔性转移模板置于已经旋涂成膜的氧化锌前聚体上,将所述玻璃基板放置到热板上,保持150℃的同时施加压力,然后移除所述柔性转移模板,得所述氧化锌薄膜。

6.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于:该薄膜上具有至少一个纳米环状周期性结构的图案,各所述纳米环状周期性结构中均具有若干纳米环;各所述纳米环的线宽均为40~200 nm,槽深均为40~80 nm,周期均为80~400 nm。

7.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,所述氧化锌薄膜的厚度为40~100 nm。

8.根据权利要求6或7所述的一种氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,若所述氧化锌薄膜上具有多个所述纳米环状周期性结构的图案,则多个所述纳米环状周期性结构呈阵列分布。

9.根据权利要求6或7所述的氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,所述纳米环为圆形或椭圆形;若所述纳米环为圆形,则各圆形的纳米环为同心圆纳米环。

10.一种如权利要求1至9中任一项所述的氧化锌薄膜在发光器件、有机太阳能电池、钙钛矿电池、光电探测、光场调控或纳米发电机领域中的应用。