1.一种基于二级对称式柔性铰链放大机构的压电叠堆微泵,其特征在于:包括单向出口阀(1)、单向入口阀(2)、阀盖(3)、泵腔(4)、密封圈(5)、振动薄膜(6)、上平板(7)、放大机构(8)、压电叠堆(9)、压电叠堆电极(10)、支架(11)和下平板(12);所述压电叠堆(9)嵌于所述下平板(12)的中心部分,所述压电叠堆(9)上端与所述放大机构(8)下端接触,所述压电叠堆电极(10)通入外接电源;所述支架(11)分别与所述上平板(7)和所述下平板(12)连接,所述支架(11)与所述上平板(7)和所述下平板(12)的中心线在同一轴线上;所述放大机构(8)位于所述支架(11)内部中心处对称分布,并通过底端两角与所述支架(11)销钉连接,所述放大机构(8)与所述压电叠堆(9)的中心线在同一轴线上,所述放大机构(8)顶端与所述振动薄膜(6)相接触;所述振动薄膜(6)位于所述阀盖(3)和所述上平板(7)的衔接处,固定于所述阀盖(3)的卡槽内,所述振动薄膜(6)上端与所述阀盖(3)之间形成所述泵腔(4);所述振动薄膜(6)正下方的所述上平板(7)加工出缓冲腔道(13),并在所述缓冲腔道(13)内置若干橡胶质地的弹性球(14);所述阀盖(3)下端内部嵌有所述密封圈(5),所述上平板(7)上的所述阀盖(3)四周均匀分布设有四个螺丝钉,所述阀盖(3)上面设有所述单向出口阀(1)和所述单向入口阀(2),所述单向出口阀(1)和所述单向入口阀(2)对称分布在所述阀盖(3)的中心轴线两侧,采用轮式结构,所述弹性球(14)在所述缓冲腔道(13)内的填充高度大于所述缓冲腔道(13)的高度1‑
2mm,
所述单向出口阀(1)和所述单向入口阀(2)均采用轮式阀作为截止阀,所述振动薄膜(6)采用纳米硅无机聚合物覆膜,
所述压电叠堆(9)由若干偏铌酸盐系压电陶瓷片电学并联或者串联连接制成,
所述纳米硅无机聚合物覆膜的厚度为7‑9μm,在所述纳米硅无机聚合物覆膜上振动钻削加工出φ0.1mm小孔,
所述压电陶瓷片包括压电陶瓷晶体膜片,所述压电陶瓷晶体膜片一面粘结金属基片,
另一面设有1‑2mm的耐腐蚀层,
所述金属基片的空白面和边沿设有绝缘层。