1.一种各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：（1）溶胶工艺：将硝酸镧、硝酸钙、硝酸锰和柠檬酸按(LaxCa1-xMnO3)·Agy的化学计量配比进行称量，然后倒入混合容器中，采用甲醇作混合溶剂载体，乙二醇作分散剂，混合后得到过渡物Ⅰ；其中， X为0.66 ~ 0.75，y为0.1 ~ 0.3；

（2）凝胶工艺：将步骤（1）所得过渡物Ⅰ置于75℃ 90℃环境中烘蒸，得到过渡物Ⅱ；

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（3）干胶工艺：将步骤（2）所得过渡物Ⅱ置于110℃ 130℃环境中脱水发泡，得到过过渡~物Ⅲ；

（4）一次碎化工艺：对步骤（3）所得过渡物Ⅲ作球磨碎化处理得到过渡物Ⅳ；

（5）一次煅烧工艺：对步骤（4）所得过渡物Ⅳ作一次煅烧得到过渡物Ⅴ；

（6）掺银工艺：将银浆均匀涂抹在球磨机的研磨小球上和球磨罐壁内侧，然后将步骤（5）所得过渡物Ⅴ倒入球磨罐开始球磨，得到过渡物Ⅵ；

（7）粉料静压工艺：将步骤（6）所得过渡物Ⅵ进行冷等静压后得到过渡物Ⅶ；

（8）二次煅烧工艺：将步骤（7）所得过渡物Ⅶ进行二次煅烧，得到过渡物Ⅷ；

（9）二次碎化工艺：通过球磨机对步骤（8）所得过渡物Ⅷ进行球磨碎化得到过渡物Ⅸ；

（10）预模压制工艺：将步骤（9）所得过渡物Ⅸ压制成预模靶；

（11）终模静压工艺：步骤（10）所得预模靶进行冷等静压得到终模靶；

（12）三次煅烧工艺：对步骤（11）所得终模靶进行富氧烧结，得到各向异性(LaxCa1-xMnO3)·Agy陶瓷靶。

2.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（4）中球磨碎化处理得到的过渡物Ⅳ粒径尺寸小于0.1mm。

3.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（5）所述一次煅烧的条件为：真空度小于500Pa，烧结温度为480℃ 500℃，烧结时间为6h  8h。

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4.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（6）中银浆的使用量为真实计算量的105% 107%，银浆粘度为1.5CPS 2.5 CPS；球磨条件为：球~ ~磨转速为300r/min   600 r/min，球磨时长为6   8h。

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5.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（7）中冷等静压的具体过程为：将所得过渡物Ⅵ倾倒在保鲜膜上，通过超声板对过渡物Ⅵ作震荡平铺，后折叠包裹再依次用保鲜膜和薄橡胶袋作封装，对封装薄橡胶袋抽真空，将呈真空态薄橡胶袋浸没入冷等静压机油槽内进行静压；静压过程为阶梯式保压操作，压力值为

170Mpa   210Mpa，受压总时间为40min   180 min。

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6.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（8）中所述二次煅烧的条件为：真空度小于500Pa，烧结温度为400℃ 450℃，烧结时长为12h ~ ~

15h。

7.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（9）中所得过渡物Ⅸ粒径尺寸小于0.5mm。

8.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（10）中所述压制过程的压力为8Mpa   13Mpa，受压总时长为10min   20 min。

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9.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（11）所述冷等静压的具体过程为：依次用保鲜膜和薄橡胶袋作封装，通过抽压机对封装薄橡胶袋抽真空，将呈真空态薄橡胶袋浸没入冷等静压机油槽内进行静压操作，所述静压过程为阶梯式保压操作，压力值为230Mpa   250Mpa，受压总时长为15min   20 min。

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10.根据权利要求1所述各向异性镧钙锰氧基陶瓷靶的制备方法，其特征在于：步骤（12）所述富氧烧结的条件为：烧结温度为1350℃ 1450℃，烧结时长为12h  16h，流动氧压~ ~为0.01Mpa 0.07Mpa。

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