1.一种用于高速低功耗相变存储器的Ge/Sb类超晶格相变薄膜材料,其特征在于:Ge/Sb类超晶格相变薄膜材料为多层膜结构,由Ge层和Sb层交替沉积复合而成,将一层Ge层和一层Sb层作为一个交替周期,后一个交替周期的 Ge层沉积在前一个交替周期的Sb层上方;
所述Ge/Sb类超晶格相变薄膜材料的膜结构用通式[Ge(a)/Sb(b)]x表示,其中a为单层Ge层的厚度, a=5nm;b为单层Sb层的厚度, b=1或3;x为Ge层和Sb层的交替周期数,x=6或8;
48nm≤(a+b)*x≤72nm。