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专利号: 2018102571710
申请人: 江苏理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于高速低功耗相变存储器的Ge/Sb类超晶格相变薄膜材料,其特征在于:Ge/Sb类超晶格相变薄膜材料为多层膜结构,由Ge层和Sb层交替沉积复合而成,将一层Ge层和一层Sb层作为一个交替周期,后一个交替周期的 Ge层沉积在前一个交替周期的Sb层上方;

所述Ge/Sb类超晶格相变薄膜材料的膜结构用通式[Ge(a)/Sb(b)]x表示,其中a为单层Ge层的厚度, a=5nm;b为单层Sb层的厚度, b=1或3;x为Ge层和Sb层的交替周期数,x=6或8;

48nm≤(a+b)*x≤72nm。