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专利号: 2018102965661
申请人: 天津理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种液晶调谐等离激元诱导透明与法布里腔杂化模式的滤波器,包括两片各覆盖一层氧化铟锡ITO膜的玻璃,以及组装在两片玻璃之间的液晶,其特征在于,液晶厚度为1μm,两层ITO膜分别称为T1膜和T2膜,T1膜的膜厚为T1=970nm;在T1膜与玻璃之间还镀有厚度

50nm的Au膜;在T1膜上制作有周期性排布的金属-电介质-金属型MIM纳米棒阵列;沿MIM纳米棒长轴方向周期为500nm,沿其短轴方向周期为300nm,每个MIM纳米棒单元的材料为Au-SiO2-Au,MIM纳米棒长度为125nm,宽度为50nm,上下两层Au厚度分别为30nm,中间SiO2厚度为20nm。