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专利号: 2018102988127
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多层孔状微结构的反射式窄带滤光片,其特征是,该滤光片为在光学玻璃表面直接刻划多组孔状微结构形成,其包括:光学材料基底(1);

第一组高折射率孔状微结构(2),其具有K,K≥1层孔状微结构,该结构直接与光学材料基底(1)相连,其表面均匀排布微孔结构,微孔为瓦罐状,截面成超半球状,依次将相邻微孔中心点连线构成六边形;

第二组低折射率孔状微结构(3),其具有N,N≥1层孔状微结构,其位于第一组高折射率孔状微结构(2)上,其表面均匀排布微孔结构,微孔为瓦罐状,截面成超半球状,依次将相邻微孔中心点连线构成六边形;

第三组高折射率孔状微结构(4),其具有M,M≥1层孔状微结构,其位于第二组低折射率孔状微结构(3)上,其表面均匀排布微孔结构,微孔为瓦罐状,截面成超半球状,依次将相邻微孔中心点连线构成六边形;

上述三组微孔结构的孔心上下对齐,且第一组高折射率孔状微结构(2)的折射率和第三组高折射率孔状微结构(4)的折射率均大于第二组低折射率孔状微结构(3)的折射率。

2.一种多层孔状微结构的反射式窄带滤光片,其特征在于,所述多层孔状微结构通过控制每组微孔的形貌、周期、占空比,层数、每层的层厚、层与层之间的排列方式,控制折射率变化函数,进而控制反射的波长。

3.一种多层孔状微结构的反射式窄带滤光片,其特征在于,同一层孔状微结构遵循同一参数和排布,不同层之间,孔状微结构的参数不同,微孔开口直径变化范围是0.2-0.5微米,深度变化范围是0.2-0.5微米,孔心与孔心之间的间距变化范围是0.4-0.9微米,微孔的密度变化范围是1.5-4.2个每平方微米。