1.一种多层孔状微结构的反射式多波段梳状窄带滤光片,其特征是,其为在玻璃或光学元件表面直接刻划多层孔状微结构形成;
其结构包括:
光学材料基底(1);
多层孔状微结构(2),其直接与光学材料基底(1)相连,该结构层层密堆,且每层孔状微结构相同,其表面均匀排布微孔(3)结构;
微孔(3),其为瓦罐状,截面成超半球状,依次将相邻微孔(3)中心点连线构成六边形。
2.根据权利要求1所述的一种多层孔状微结构的反射式多波段梳状窄带滤光片,其特征在于,所述多层孔状微结构(2)的层数为S,S≥1,数量不同的层数影响不同的反射波段。
3.根据权利要求1所述的一种多层孔状微结构的反射式多波段梳状窄带滤光片,其特征在于,所述微孔(3)的超半球半径R、深度h和孔心间距d特征参数对折射率变化函数进行调制,进而精准控制反射的波段与各波段中心波长;
所述折射率变化函数公式为:n(f)=[(1-f)ni2+fns2]1/2,其中ni是空气折射率,ns基底折射率,其中f为占空比,其公式为f(θ)=(31/2d2-πsin2θR2)/31/2d2,其中d是孔心间距,h和θ的关系式为:h(θ)=(1-cosθ)R,其中θ是超半球深度h处朝向超半球圆心方向的半径与竖直方向所形成的夹角,h起始值为0,随深度变浅,h值增大,R为超半球半径。
4.根据权利要求1或3所述的一种多层孔状微结构的反射式多波段梳状窄带滤光片,其特征在于,所述微孔(3)的超半球半径R变化范围是0.05-0.1μm,深度h的变化范围是0.06-
1.8μm,孔心间距d的变化范围是0.2-0.55μm。