1.基于化学腐蚀的光学玻璃亚表面损伤深度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将加工后的光学玻璃试样放入腐蚀性液体中腐蚀一个时间段(ti)后，取出超声清洗并真空烘干后，采用激光共聚焦显微镜检测腐蚀表面的表面粗糙度Rt，i和单位面积内的表面积SA，i，循环上述操作，分别绘制表面粗糙度Rt，i和单位面积的表面积SA，i随腐蚀时间变化的曲线；

(2)将表面粗糙度Rt，i随腐蚀时间变化的曲线中表面粗糙度最大值Rt-max定义为光学玻璃亚表面裂纹深度dcrack；

(3)将单位面积内的表面积SA，i随时间变化曲线中SA，i值趋于稳定的时刻作为腐蚀到光学玻璃亚表面损伤层整体深度的时间tSSD；

(4)采用耐腐蚀涂层覆盖相同工艺加工试样表面的部分区域，然后将该试样浸入相同的腐蚀液中，腐蚀tSSD时间后取出，清除耐腐蚀涂层，清洗试样表面，测量腐蚀表面与未腐蚀表面的台阶高度值，即为光学玻璃亚表面损伤层整体深度dSSD，进而可得残余应力层深度dr＝dSSD-dcrack。

2.如权利要求1所述基于化学腐蚀的光学玻璃亚表面损伤深度测量方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述化学腐蚀液的成分和浓度根据光学玻璃结构和损伤程度确定，且盛放化学腐蚀液的容器放置于恒温环境中。