1.一种基于石墨烯薄膜位移传感的振动测量装置，包括梁的静电激励振动装置、电容式探测器信号探测装置、振动信号传感装置三部分；所述梁的静电激励振动装置，其特征在于：所述梁的静电激励振动装置由交流信号源(11)、静电驱动极板(10)、底板(13)、悬臂梁(1)、侧板(8)、驱动开关(12)和导线组成；所述静电驱动极板(10)固定在底板(13)上，位于悬臂梁(1)正上方，长度略短于悬臂梁(1)；所述悬臂梁(1)固定在侧板(8)上，左端固定右端自由，悬臂梁(1)上表面镀一层金金属层(9)，金金属层(9)的左端通过导线连接交流信号源(11)的左端，交流信号源(11)的右端通过导线连接驱动开关(12)的左端，驱动开关(12)的右端通过导线连接静电驱动极板(10)的右端；所述声波(7)由悬臂梁(1)振动产生，激励电容式探测器(6)的圆形石墨烯薄膜(17)振动；

所述电容式探测器信号探测装置由圆形石墨烯薄膜(17)、圆形背部电极(16)、衬底(15)、支撑环块(14)和导线组成；所述衬底(15)位于电容式探测器(6)的下部；所述圆形背部电极(16)固结于衬底(15)上部，圆形背部电极(16)的直径与衬底(15)相同；所述支撑环块(14)固结圆形背部电极(16)，为绝缘材料；所述圆形石墨烯薄膜(17)置于支撑环块(14)之上，与支撑环块(14)固结，圆形石墨烯薄膜(17)的直径与圆形背部电极(16)相同；所述圆形石墨烯薄膜(17)的右端连出一根导线作为b端；所述圆形背部电极(16)的右端连出一根导线作为a端；

所述振动信号传感装置由电源组(3)、信号取样电阻(5)、信号传感器(4)、开关(2)和导线组成；所述电源组(3)负极通过导线连接开关右端，开关左端通过导线连接电容式探测器(6)的b端；所述电源组(3)正极通过导线连接信号取样电阻(5)的上端，信号取样电阻(5)的下端通过导线连接电容式探测器(6)的a端；所述信号传感器(4)与信号取样电阻(5)并联；

悬臂梁(1)在交流信号激励作用下产生受迫振动；振动时会产生声波(7)，声波(7)激励位于悬臂梁(1)下方的电容式探测器(6)，电容式探测器(6)的圆形石墨烯薄膜(17)在声波(7)的影响下产生振动效应，与圆形背部电极(16)之间的距离不断变化，在电源组(3)直流电压的影响下，回路中的电流也不断变化，电流变化的频率和悬臂梁(1)的振动频率相同；

检测信号传感回路上电流的变化频率，得到了悬臂梁(1)的振动频率；

回路中的电流可以表示为 其中，ωa是声波(7)的角频率，Vbias是电

源组的直流偏置电压，C是电容式探测器(6)的电容值，d0是圆形石墨烯薄膜(17)与圆形背部电极的间距，A为振动幅值，t为时间。