1.一种可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:包括反应釜组件(1)和基座组件(2),所述反应釜组件(1)包括具有内腔(111)的反应釜本体(11)、活塞(12)和第一驱动系统,所述活塞(12)设置在内腔(111)中,且其与内腔(111)之间形成沉积腔(112),所述第一驱动系统用于驱动活塞(12)运动控制沉积腔(112)的大小,所述基座组件(2)包括底座(21)、转动设置在底座(21)上的旋转盘(22)和用于驱动旋转盘(22)转动的第二驱动系统,所述旋转盘(22)上设置有釜壁夹具(23),所述釜壁夹具(23)用于夹持反应釜本体(11);
所述反应釜本体(11)上设置有电沉积夹具(3),所述电沉积夹具(3)包括法兰盘(31)和电极连接元件(36),所述法兰盘(31)与反应釜本体(11)配合将沉积腔(112)封闭,所述法兰盘(31)的一端向上延伸有连接柱(311),其另一端向下延伸有两个电极板(312),所述电极板(312)位于沉积腔(112)内,所述电极板(312)上设置有具有弹性的第一导电圈(35)和用于夹紧待镀工件的夹具元件(34),所述电极连接元件(36)与连接柱(311)转动连接,所述电极连接元件(36)通过连接柱(311)与第一导电圈(35)电连接;
所述连接柱(311)上依次套设有正电极圈(32)和负电极圈(33),所述电极连接元件(36)包括具有弧形凹槽的正电极片(361)和负电极片(362),所述正电极片(361)和负电极片(362)的弧形凹槽分别与正电极圈(32)和负电极圈(33)配合转动连接。
2.根据权利要求1所述的可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:所述釜壁夹具(23)包括夹爪(231),所述夹爪(231)的侧面向外延伸有卡凸(232),所述夹爪(231)的底端铰接在旋转盘(22)上,所述反应釜本体(11)上开设有与卡凸(232)配合的卡槽(113),当所述卡凸(232)卡入卡槽(113)后,夹爪(231)通过螺栓(233)与反应釜本体(11)固定连接。
3.根据权利要求2所述的可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:所述卡凸(232)的数量为两个,两个所述卡凸(232)沿夹爪(231)从上至下分布。
4.根据权利要求3所述的可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:所述夹爪(231)的数量至少为两个,若干个所述夹爪(231)沿反应釜本体(11)的圆周方向均匀分布。
5.根据权利要求1所述的可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:所述第一驱动系统包括气缸(13),所述气缸(13)固定设置在内腔(111)底端,且气缸(13)的活塞杆与活塞(12)固定连接。
6.根据权利要求1所述的可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:所述底座(21)向上延伸有支承轴(211),所述支承轴(211)上套设有轴承,所述旋转盘(22)的底端开设有与轴承配合的接口(221)。