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专利号: 2018104910108
申请人: 深圳市克拉尼声学科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-08-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆的生产方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:

步骤一:将块状的复晶硅置于石英坩埚内,加热使其完全融化为硅熔浆;

步骤二:将步骤一中的硅熔浆温度稳定后依次进行晶棒的颈部成长、晶冠成长、晶体成长和尾部成长;

步骤三:将步骤二中的晶棒直径偏小的头、尾部裁切同时进行外径研磨;

步骤四:将步骤三中的晶棒放入切片机中进行切片,切片成晶片后研磨;

步骤五:将步骤四中的晶片放入到湿法刻蚀装置中进行蚀刻;

步骤六:将步骤五中的晶片放入到清洗装置中彻底清洗、风干;

其中,所述湿法刻蚀装置包括一号筒体(1)、二号筒体(2)和挡板(3);所述二号筒体(2)同轴安装在一号筒体(1)内部;所述挡板(3)的数量为八个且在一号筒体(1)内部呈圆周排列,挡板(3)将一号筒体(1)分割为一号密封仓(4)、二号密封仓(5)和三号密封仓(6),所述二号密封仓(5)一侧为一号密封仓(4)、二号密封仓(5)另一侧为三号密封仓(6);挡板(3)上设有通孔(31);所述一号密封仓(4)的数量为两个,一号密封仓(4)侧壁开设有一号滑槽(41),一号密封仓(4)内部设有挡液模块(42);所述二号密封仓(5)数量为四个,二号密封仓(5)内部固定安装刻蚀模块(51);所述三号密封仓(6)数量为两个,三号密封仓(6)中设有一号进液口(61);所述二号筒体(2)底部开设有排液口(21),二号筒体(2)与一号密封仓(4)相交处侧壁开设有二号进液口(43);

所述刻蚀模块(51)包括壳体(511)、三号导杆(512)和转动单元(513);所述壳体(511)上设有三号进液口(518);所述转动单元(513)通过三号导杆(512)固定安装在壳体侧壁上;

所述挡液模块(42)包括一号滑块(421)、一号导杆(422)、浮动块(423)、二号导杆(424)、一号滑动伸缩杆(425)、三号滑块(426)和球形挡块(427);所述浮动块(423)通过一号导杆(422)与一号滑块(421)固定连接;所述一号滑块(421)在一号滑槽(41)上滑动;所述浮动块(423)下方设有三号滑块(426);所述三号滑块(426)中设有二号滑槽(428);所述二号导杆(424)一端与浮动块(423)连接;二号导杆(424)的另一端设有二号滑块(429)、其用于带动三号滑块(426)运动;所述三号滑块(426)通过一号滑动伸缩杆(425)一端与球形挡块(427)固定连接、一号滑动伸缩杆(425)另一端与一号密封仓(4)侧壁固定连接;所述球形挡块(427)与二号进液口(43)配合使用;

所述转动单元(513)包括转动扇叶(514)、一号转动环(515)、震动单元(516)和夹紧单元(7);所述转动扇叶(514)固定安装在一号转动环(515)上;所述夹紧单元(7)通过震动单元(516)转动安装在一号转动环(515)中;

所述震动单元(516)为螺旋板(517);所述螺旋板(517)用于使夹紧单元(7)相对于一号转动环(515)转动;

所述夹紧单元(7)包括二号转动环(71)、二号滑动伸缩杆(72)、一号弹簧(73)和夹紧块(74);所述二号滑动伸缩杆(72)一端与二号转动环(71)固定连接、二号滑动伸缩杆(72)另一端与夹紧块(74)固定连接;二号滑动伸缩杆(72)外套设有一号弹簧(73);所述二号滑动伸缩杆(72)、一号弹簧(73)和夹紧块(74)配合用于夹紧晶圆(8)。