1.一种内置式单面薄膜节流静压丝杠副,包括丝杠(1),其特征在于,还包括与丝杠(1)配合的螺母(2),所述螺母(2)包括相互配合的内套筒(21)和外套筒(22)以及多个薄膜(23);
所述内套筒(21)与丝杠(1)配合的螺纹同侧内螺旋面上至少有两圈螺纹开有静压油腔(211),其中每圈内套筒(21)的螺纹上至少开有三个静压油腔(211);
所述内套筒(21)的外圆柱面上设有与静压油腔(211)对应的凹槽A(214),所述凹槽A(214)内设有凸台(215),所述凸台(215)上设置连通静压油腔(211)的供油小孔(212),所述凹槽A(214)的顶端设有放置薄膜(23)的薄膜槽(213),当薄膜(23)安装在薄膜槽(213)时,薄膜(23)与凸台(215)之间形成节流间隙(24);
所述外套筒(22)的内圆柱面上开有与凹槽A(214)一一对应且与凹槽A(214)共同固定薄膜(23)的凹槽B(221),所述外套筒(22)上设有为凹槽A(214)供油的供油通道(222)。
2.根据权利要求1所述的一种内置式单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,所述螺母(2)的数量是两个,两所述螺母(2)通过法兰结构(217)连接,其中一所述法兰结构(217)的端部设有环形槽(216),另一个所述法兰结构(217)的端部设有与环形槽(216)相配合的环形凸台(2111)。
3.根据权利要求1或2所述的一种内置式单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,所述内套筒(21)的外圆柱面上设有与供油通道(222)连通的主供油槽(219),所述主供油槽(219)连通数个凹槽A(214)。
4.根据权利要求3所述的一种内置式单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,两相邻轴向和/或周向所述凹槽A(214)之间设有分供油槽(2110)。
5.根据权利要求1所述的一种内置式单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,所述薄膜槽(213)的下表面、凸台(215)的上表面、外套筒(22)上凹槽B(221)的上底面和薄膜(23)上下两表面的固定边缘均具有与各自所在圆柱面相等的曲率半径。
6.根据权利要求2所述的一种内置式单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,两所述螺母(2)的法兰结构(217)之间设有垫片(3)。
7.根据权利要求2所述的一种内置式单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,两所述法兰结构(217)通过螺栓、螺母连接。