1.一种内置式预压可调单面薄膜节流静压丝杠副,包括丝杠(1),其特征在于,还包括与丝杠(1)配合的螺母,所述螺母包括相互配合的内套筒(21)和外套筒(22),设置在内套筒(21)上的调整装置(24)和弹簧(25)以及多个通过内套筒(21)和外套筒(22)固定的薄膜(23);
所述内套筒(21)与丝杠(1)配合的螺纹同侧内螺旋面上至少有两圈螺纹开有静压油腔(211),其中每圈内套筒(21)的螺纹上至少开有三个静压油腔(211),所述内套筒(21)的外圆柱面上设有与静压油腔(211)相通的凹槽A(214);
所述外套筒(22)的内圆柱面上开有凹槽C(222),所述弹簧(25)设置在凹槽C(222)内,所述调整装置(24)的控制端设置在外套筒(22)的外面,深入端设置在凹槽C(222)内,所述弹簧(25)的一端与薄膜(23)接触,另一端固定在调整装置(24)的深入端上;
所述薄膜(23)设置在凹槽A(214)和凹槽C(222)之间;
所述外套筒(22)上设有为凹槽A(214)供油的供油通道(228);
所述凹槽A(214)内设有凸台(215),所述凸台(215)上设置连通静压油腔(211)的供油小孔(212);
所述凹槽A(214)的顶端设有放置薄膜(23)的薄膜槽(213),当薄膜(23)安装在薄膜槽(213)时,薄膜(23)与凸台(215)之间形成节流间隙(26)。
2.根据权利要求1所述的一种内置式预压可调单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,两相邻轴向和/或周向所述凹槽A(214)之间设有分供油槽(2110)。
3.根据权利要求2所述的一种内置式预压可调单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,所述外套筒(22)的内圆柱面上设有节流槽A(223),所述节流槽A(223)的一端与分供油槽(2110)相连通,另一端与凹槽C(222)连通。
4.根据权利要求1所述的一种内置式预压可调单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,所述内套筒(21)的外圆柱面上设有与供油通道(228)连通的主供油槽(219),所述主供油槽(219)连通数个凹槽A(214)。
5.根据权利要求1所述的一种内置式预压可调单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,所述外套筒(22)的内圆柱面上设有连通数个凹槽C(222)的节流槽B(225),所述外套筒(22)上设有连通节流槽B(225)的出油孔(227)。
6.根据权利要求1所述的一种内置式预压可调单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,所述螺母的数量是两个,两所述螺母通过法兰结构(217)连接,其中一所述法兰结构(217)的端部设有环形槽(216),另一个所述法兰结构(217)的端部设有与环形槽(216)相配合的环形凸台(2111)。
7.根据权利要求6所述的一种内置式预压可调单面薄膜节流静压丝杠副,其特征在于,两所述螺母的法兰结构(217)之间设有垫片(3)。