1.一种NiO/SiC异质发射结结构,其特征在于:包括p-NiO发射区(6),紧邻p-NiO发射区(6)的下方为n-SiC短基区(5),p-NiO发射区(6)与n-SiC短基区(5)上下相接。
2.根据权利要求1所述的NiO/SiC异质发射结结构,其特征在于:所述的p-NiO发射区(6)的材料为p型NiO,厚度为0.1μm-3.0μm,上下端表面积为1μm2-2000cm2;
n-SiC短基区(5)的材料为n型SiC,厚度为0.1μm-3.0μm,上下端表面积为1μm2-2000cm2。
3.一种含NiO/SiC异质发射结的SiC光触发晶闸管,其特征在于:包括衬底(1),该衬底(1)的材料为n型SiC;
在衬底(1)上表面制作有n-SiC缓冲层(2),该n-SiC缓冲层(2)的材料为n型SiC;
在n-SiC缓冲层(2)上表面制作有p-SiC缓冲层(3),该p-SiC缓冲层(3)的材料为p型SiC;
在p-SiC缓冲层(3)上表面制作有p-SiC长基区(4),该p-SiC长基区(4)的材料为p型SiC;
在p-SiC长基区(4)上表面制作有n-SiC短基区(5),该n-SiC短基区(5)的材料为n型SiC;
在n-SiC短基区(5)上表面制作有p-NiO发射区(6),p-NiO发射区(6)分为多个凸台,每个凸台的侧壁为平面,该p-NiO发射区(6)的材料为p型NiO;
还包括绝缘介质薄膜(7),绝缘介质薄膜(7)覆盖在p-NiO发射区(6)的各个凸台侧壁、各个凸台之间的n-SiC短基区(5)上表面;
在p-NiO发射区(6)的各个凸台上端面覆盖有阳极(8);
在衬底(1)下端面覆盖有阴极(9)。
4.根据权利要求3所述的含NiO/SiC异质发射结的SiC光触发晶闸管,其特征在于:所述的衬底(1)的厚度为100μm-1mm,该衬底(1)的上下端表面积为1μm2-2000cm2;
n-SiC缓冲层(2)的厚度为0.1μm-3.0μm,该n-SiC缓冲层(2)的上下端表面积为1μm2-
2000cm2;
p-SiC缓冲层(3)的厚度为0.1μm-3.0μm,该p-SiC缓冲层(3)的上下端表面积为1μm2-
2000cm2;
p-SiC长基区(4)的厚度为0.1μm-300μm,该p-SiC长基区(4)的上下端表面积为1μm2-
2000cm2;
n-SiC短基区(5)的厚度为0.1μm-3.0μm,上下端表面积为1μm2-2000cm2;
p-NiO发射区(6)的厚度为0.1μm-3.0μm,上下端表面积为1μm2-2000cm2。
5.根据权利要求3所述的含NiO/SiC异质发射结的SiC光触发晶闸管,其特征在于:所述的绝缘介质薄膜(7)厚度为0.1μm-2μm。
6.根据权利要求3所述的含NiO/SiC异质发射结的SiC光触发晶闸管,其特征在于:所述的阳极(8)由阳极金属与阳极压焊块组成,阳极压焊块覆盖在阳极金属的上表面,厚度为
0.1μm-100μm。
7.根据权利要求3所述的含NiO/SiC异质发射结的SiC光触发晶闸管,其特征在于:所述的阴极(9)由阴极金属与阴极压焊块组成,阴极压焊块覆盖在阴极金属的下端面,厚度为
0.1μm-100μm。
8.根据权利要求3所述的含NiO/SiC异质发射结的SiC光触发晶闸管,其特征在于:所述的p-NiO发射区(6)的各个凸台为叉指结构、平行长条状、圆环形、正方形或渐开线形台面之一,或其组合形状,各凸台的间距为0.1μm-1cm,各凸台的高度为0.1μm-5.9μm,各凸台的高度不小于p-NiO发射区(6)的厚度。