1.一种半导体晶圆划片机,包括工作台(1)、吸盘(2)、真空发生器和切割刀(3),所述工作台(1)内设有真空发生器;所述吸盘(2)安装在工作台(1)上;所述吸盘(2)用于吸附晶圆;
所述吸盘(2)上方设有切割刀(3);其特征在于:还包括调节装置(4);所述调节装置(4)安装在吸盘(2)的吸附孔(5)上,所述调节装置(4)用于调整吸附孔(5)的吸附面积;其中,所述调节装置(4)包括滑块(41)、螺母(42)、转动杆(43)、齿轮(44)和转盘(45);一组滑块(41)呈圆环状设置在吸附孔(5)外圈;所述滑块(41)一侧固连着螺母(42);所述螺母(42)旋接在转动杆(43)端头;所述转动杆(43)中部固连着齿轮(44);所述转动杆(43)底部设有与齿轮(44)相啮合的转盘(45);所述转盘(45)转动安装在吸盘(2)内部;所述转盘(45)外圈设有齿槽;位于吸盘(2)中部的转盘(45)依次与位于中部转盘(45)外围的转盘(45)啮合,其中一个转盘(45)通过电机控制转动;
所述滑块(41)底部设有转动安装在吸盘(2)内的伸缩板(8);所述吸附孔(5)一侧内壁内衬一层橡胶圈(54);所述滑块(41)能够推动伸缩板(8)转动,伸缩板(8)转动用于挤压橡胶圈(54);两个滑块(41)之间固连着橡胶网(9),所述橡胶网(9)用于支撑晶圆;
工作时,当需要对不同大小晶圆进行切割时,可通过调节装置(4)改变吸附孔(5)的大小,避免吸附孔(5)过小造成吸附力不足,造成切割损坏;或者由于吸附孔(5)过大造成晶圆被吸附区域变形,影响晶圆的品质;具体的可通过转盘(45)旋转,使得滑块(41)移动,调节一组滑块(41)和吸附孔(5)圆心的距离,从而改变吸附孔(5)的吸附面积;在滑块(41)移动将吸附孔(5)的吸附面扩大时,两个滑块(41)之间的橡胶网(9)展开,通过橡胶网(9)支撑晶圆,避免吸附面无支撑而造成晶圆的被吸附区域变形,影响晶圆的品质。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆划片机,其特征在于:所述吸附孔(5)一侧设有连通孔(51);所述连通孔(51)一端与吸附孔(5)连通;所述连通孔(51)另一端与外界连通;所述连通孔(51)内滑动安装着疏通块(52);所述疏通块(52)设有与吸附孔(5)同向的一号通孔(53),所述疏通块(52)用于防止吸附孔(5)堵塞。
3.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆划片机,其特征在于:所述疏通块(52)内设有伸缩杆(6);所述吸附孔(5)与连通孔(51)交接处的吸附孔(5)内壁上转动安装着搅动板(7);所述搅动板(7)的转轴内设有扭簧,所述疏通块(52)移至吸附孔(5)内时伸缩杆(6)能够弹出,伸缩杆(6)弹出用于挤压搅动板(7)摆动。