1.一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，包括相连接的衬底层、镜片层和牺牲层(8)，所述牺牲层(8)图形化沉积与消除后，所述镜片层与衬底层部分相连，部分悬空；

所述衬底层包括衬底材料(1)、衬底导电层(2)、衬底图形化金属层(3)和衬底保护层(4)，所述衬底导电层(2)、衬底图形化金属层(3)、衬底保护层(4)依次通过图形化与薄膜沉积的方式生长在衬底材料(1)上；

所述镜片层包括镜片承载层(5)、镜片金属层(6)和镜片补偿层(7)，所述镜片承载层(5)、镜片金属层(6)、镜片补偿层(7)依次通过图形化与薄膜沉积的方式生长在衬底保护层(4)上；

所述衬底图形化金属层(3)、镜片金属层(6)与引线接口(9)相连。

2.根据权利要求1所述的一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，所述镜片补偿层(7)面积小于镜片承载层(5)与镜片金属层(6)。

3.根据权利要求2所述的一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，所述牺牲层(8)去除后，所述镜片层自然上翘，覆盖有镜片补偿层(7)保护的部分保持平直，没有镜片补偿层(7)保护的部分自然弯曲。

4.根据权利要求1所述的一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，所述衬底材料(1)采用硅材料或石英玻璃；所述衬底导电层(2)采用氧化铟锡导电薄膜；所述图形化金属层(3)采用铝、铜或铁；所述衬底保护层(4)采用SiO2或Si3N4。

5.根据权利要求 4所述的一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，所述镜片承载层(5)采用SiO2或Si3N4；所述镜片金属层(6)采用铝、铜或铁；所述镜片补偿层(7)采用SiO2或Si3N4。

6.根据权利要求1所述的一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，所述薄膜沉积方式采用化学气相沉积或物理气相沉积。