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专利号: 2018107403707
申请人: 玉环市几偶孵化器有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-04-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种太阳能级多晶硅制备装置,其特征在于:包括炉体(21),坩埚杆(16)的上端位于所述炉体(21)内,且坩埚杆(16)的上端设置有坩埚支撑(19),坩埚杆(16)的下端位于所述炉体(21)外,所述坩埚支撑(19)内设置有坩埚(12),所述坩埚支撑(19)的外周设置有主加热器(13),所述坩埚支撑(19)的下侧设置有辅助加热器(15),所述坩埚(12)正上方的中部设置有提拉共晶保护罩(4),所述提拉共晶保护罩(4)上设置有设置有充气管(4-1),所述充气管(4-1)的下端位于所述保护罩内,且不插入所述坩埚(12)的熔体内,所述充气管(4-1)的上端从下到上依次穿过所述保护罩的上侧板以及炉体(21)后从炉体(21)的上侧伸出,所述保护罩的侧壁上设置有出气通道(4-2);所述充气管(4-1)之间设置有籽晶杆(2),所述籽晶杆(1)的上端位于所述炉体(21)的外侧,所述籽晶杆(1)的下端延伸到所述保护罩内,且所述籽晶杆(1)的下端设置有硅籽晶(7),所述保护罩的左右两侧设置有等离子电极(5),所述等离子电极(5)的上端设置有电极杆(2),所述电极杆(2)的上端延伸至所述炉体(21)外,位于左侧的所述等离子电极(5)的左侧设置有铝丝保护管(18), 位于右侧的所述等离子电极(5)的右侧设置有钛丝保护管(6),且所述等离子电极(5)、钛丝保护管(6)以及铝丝保护管(18)位于所述坩埚(12)的正上方,高纯钛丝(3)通过钛丝保护管(6)进入坩埚(12)内的熔体(17)中,高纯铝丝(20)通过铝丝保护管(18)进入坩埚(12)内的熔体(17)中。

2.如权利要求1所述的太阳能级多晶硅制备装置,其特征在于:所述炉体(21)的外侧设置有坩埚杆旋转驱动装置,所述驱动装置用于驱动所述坩埚旋转。

3.如权利要求1所述的太阳能级多晶硅制备装置,其特征在于:所述排气通道(4-2)倾斜设置,且排气通道(4-2)的下端高于所述保护罩的下端。

4.如权利要求1所述的太阳能级多晶硅制备装置,其特征在于:所述炉体上设置有设置有排气阀门,用于保证充气管(4-1)充入气体时,将多余气体排出,同时将从熔体中排出的杂质气体排出。