1.一种静电驱动微马达装置包括微梁静电驱动系统、动力输出系统和马达启动停止系统三部分；静电驱动装置由固定端(1)、电源开关(2)、直流电源(3)、上极板(4)、上极板接触弹簧(5)、上电极(6)、微梁(7)、下电极(8)、下极板接触弹簧(9)和下极板(10)组成；固定端(1)与底座连接，微梁(7)左端与固定端(1)固定连接，右端与质量块(12)固定连接，微梁(7)上表面和下表面分别电镀一层铜元素导电薄膜，组成上电极(6)和下电极(8)，薄膜厚度为

50微米，宽度与梁等宽，长度与上极板(4)和下极板(10)相等，上电极(6)和下电极(8)通过金属导线连接导通；上电极(6)与上极板(4)形成一个平行板电容器，下电极(8)与下极板(10)形成一个平行板电容器，两个平行板电容器尺寸和板间距离完全相同，以微梁(7)轴线为对称轴对称分布，上极板(4)和下极板(10)分别与底座固定；上极板接触弹簧(5)固定在上极板(4)中央，下极板接触弹簧(9)固定在下极板(10)中央，上极板接触弹簧(5)和下极板接触弹簧(9)均由金属丝做成；电源开关(2)左端连接下极板(10)，右端连接直流电源(3)，直流电源(3)右端连接上极板(4)；动力输出系统由质量块(12)、质量块铰链(13)、惯性轮铰链(14)、连杆(15)、连杆铰链(16)和惯性轮(17)组成，连杆(15)下端通过质量块铰链(13)与质量块(12)连接，上端通过连杆铰链(16)与惯性轮(17)连接，惯性轮(17)轮心通过惯性轮铰链(14)与底座连接；马达启动系统由电磁铁(11)、质量块(12)和微梁(7)组成，电磁铁(11)位于质量块(12)正下方；

微机械马达工作过程表述如下：对电磁铁(11)进行通电操作，电磁铁(11)通电，电磁铁(11)产生电磁力，吸引铁磁性质量块(12)向下运动，质量块(12)带动微梁(7)产生弯曲变形，设计微梁(7)变形对应的连杆(15)上端到达下止点，使得下电极(8)通过下极板接触弹簧(9)与下极板(10)导通，闭合电源开关(2)，直流电源(3)向上极板(4)和上电极(6)组成的电容器充电，上极板(4)充正电荷，上电极(6)充负电荷；对电磁铁(11)进行断电操作，电磁铁(11)断电，电磁铁(11)电磁力消失，对质量块(12)产生的电磁引力消失，微梁(7)在弹性力和平行板电容器间的静电引力作用下向上运动，质量块(12)推动连杆(15)做平面运动，连杆(15)推动惯性轮(17)做定轴转动；

微梁(7)向上运动，越过平衡位置，上极板(4)的上极板接触弹簧(5)与上电极(6)接触导通，上极板(4)和上电极(6)电容器发生电中和，电中和结束后，直流电源(3)接着给下极板(10)和下电极(8)电容器充电，连杆(15)上端继续向上运动，达到上止点时速度为零，连杆(15)在微梁(7)弹性力、下极板(10)和下电极(8)间静电引力作用下向下做平面运动，推动惯性轮(17)做定轴转动；

微梁(7)越过平衡位置向下运动，下极板的下极板接触弹簧(9)与下电极(8)导通，下极板和下电极(8)电容器发生电中和，电中和结束后，直流电源(3)接着给上极板(4)和上电极(6)电容器充电，这时，连杆(15)上端达到下止点，连杆(15)在微梁(7)弹性力、上极板(4)与上电极(6)静电引力作用下向上做平面运动，推动惯性轮(17)做定轴转动；

静电马达做周期性重复运动，驱动惯性轮(17)转动；断开直流电源开关(2)，平行板电容器充电结束，静电马达在自身阻尼作用下运动幅值逐步减小，直到静止，微机械马达停止。