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专利号: 2018107975509
申请人: 西安工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置,其特征在于,包括波长可调光源(1),沿波长可调光源(1)出射光线光轴方向依次设置扩束镜(2)、针孔光阑(3)、准直镜(4)、可调狭缝(5)和反射式平面衍射光栅(6),反射式平面衍射光栅(6)的工作面与所述出射光线光轴之间构成20—45°的入射夹角,在所述反射式平面衍射光栅(6)的下方竖直依次设光学成像镜头(8)和CCD图像采集系统(9),所述CCD图像采集系统(9)连接计算机(10);在所述反射式平面衍射光栅(6)和光学成像镜头(8)之间设置待测件(7)。

2.根据权利要求1所述基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置,其特征在于,所述准直镜(4)的焦距等于准直镜(4)到针孔光阑(3)的距离。

3.根据权利要求1或2所述基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置,其特征在于,所述可调狭缝(5)的狭缝宽度可调范围0-10mm。

4.根据权利要求1所述基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,调节扩束镜的位置,使可调波长光源出射的光束会聚到一点,在会聚点处加针孔光阑,滤除杂散光,使出射的光波为球面波;

步骤2,调节准直镜的位置,使入射的球面波通过后变为平面光波;

步骤3,调节可调狭缝缝宽,使平面光波通过狭缝后出射合适线状平面光波;

步骤4,调节反射式平面衍射光栅,使合适线状平面光波斜入射,反射光波为衍射光波;

步骤5,调节反射式平面衍射光栅,使其+1级衍射波通过光学成像镜头会聚,在光学成像镜头的像平面上得到衍射图样A,调节CCD图像采集系统接收衍射图样A;

步骤6,为了400nm-800nm波长的+1级衍射波均匀投射到CCD的接收面上,选定可调光源的中心波长600nm进行光束入射角的标定,调节光束入射角使600nm波长的衍射波垂直入射到CCD接收面上,作为CCD接收的中心坐标;

步骤7,在反射式平面衍射光栅和光学成像镜头之间加入待测件,在光学成像镜头的像平面上得到经待测件折射的衍射光波B,调节CCD图像采集系统接收衍射图样B;

步骤8,计算机对比处理衍射图样B和衍射图样A,得到待测件的折射率空间分布信息。