1.一种镁合金表面磁控溅射制备的钽生物涂层,其特征在于,所述钽涂层包括铝过渡层和钽涂层,由磁控溅射法制备。
2.如权利要求1所述一种镁合金表面磁控溅射制备的钽生物涂层,其特征在于,采用所述磁控溅射法在镁合金表面制备钽涂层时,需先在镁合金表面磁控溅射制备一层铝过渡层,再磁控溅射制备钽涂层。
3.如权利要求1所述一种镁合金表面磁控溅射制备的钽生物涂层,其特征在于,所述铝过渡层厚0.1-0.2微米,所述钽涂层厚1-2微米。
4.一种镁合金表面磁控溅射制备钽生物涂层的方法,其特征在于,先在镁合金表面磁控溅射制备一层铝过渡层,再磁控溅射制备钽涂层。
5.如权利要求4所述一种镁合金表面磁控溅射制备钽生物涂层的方法,其特征在于,具体包括以下步骤:S1. 试样打磨清洗:将试样用200#-2000#砂纸打磨后冷水清洗,丙酮除油,乙醇超声清洗,随后吹干待用;
S2. 装机:将试样、铝靶材、钽靶材安装到磁控溅射腔,保证试样表面和靶材位置之间的距离为8-10cm;
S3. 抽真空充氩气:将磁控溅射腔抽真空至≤1×10-3Pa后,充入氩气至0.4Pa;
S4. 磁控溅射制备铝过渡层;
S5. 磁控溅射制备钽涂层;
S6. 取出试样:将磁控溅射完成后的试样卸下,乙醇超声清洗,烘干,结束。
6.如权利要求5所述一种镁合金表面磁控溅射制备钽生物涂层的方法,其特征在于,步骤S2中,所述铝靶材的纯度≥99.99%,所述钽靶材的纯度≥99.99%。
7.如权利要求5所述一种镁合金表面磁控溅射制备钽生物涂层的方法,其特征在于,所述步骤S4具体包括以下步骤:S4a. 选择铝靶材;
S4b. 调整电压为265V-275V,磁控溅射5-8min;
S4c.铝过渡层制备完成后关闭电压。
8.如权利要求7所述一种镁合金表面磁控溅射制备钽生物涂层的方法,其特征在于,所述步骤S4b具体为,调整电压为270V,磁控溅射7min。
9.如权利要求5所述一种镁合金表面磁控溅射制备钽生物涂层的方法,其特征在于,所述步骤S5具体包括以下步骤:S5a. 选择钽靶材;
S5b. 调整电压为245 V -255V,磁控溅射30-40min;
S5c. 钽涂层制备完成后关闭电压。
10.如权利要求9所述一种镁合金表面磁控溅射制备钽生物涂层的方法,其特征在于,所述步骤S5b具体为,调整电压为250V,磁控溅射35min。