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专利号: 2018108042462
申请人: 北方民族大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-11-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种镁合金表面磁控溅射制备钽生物涂层的方法,其特征在于,具体包括以下步骤:S1. 试样打磨清洗:将试样用200#-2000#砂纸打磨后冷水清洗,丙酮除油,乙醇超声清洗,随后吹干待用;

S2. 装机:将试样、铝靶材、钽靶材安装到磁控溅射腔,保证试样表面和靶材位置之间的距离为8-10cm;

S3. 抽真空充氩气:将磁控溅射腔抽真空至≤1×10-3Pa后,充入氩气至0.4Pa;

S4. 磁控溅射制备铝过渡层;

S5. 磁控溅射制备钽涂层;

S6. 取出试样:将磁控溅射完成后的试样卸下,乙醇超声清洗,烘干,结束;

所述步骤S2中,所述铝靶材的纯度≥99.99%,所述钽靶材的纯度≥99.99%;

所述步骤S4具体包括以下步骤:

S4a. 选择铝靶材;

S4b. 调整电压为265V-275V,磁控溅射5-8min;

S4c.铝过渡层制备完成后关闭电压;

所述步骤S5具体包括以下步骤:

S5a. 选择钽靶材;

S5b. 调整电压为245 V -255V,磁控溅射30-40min;

S5c. 钽涂层制备完成后关闭电压;

所述铝过渡层厚0.1-0.2微米,所述钽涂层厚1-2微米。

2.如权利要求1所述一种镁合金表面磁控溅射制备钽生物涂层的方法,其特征在于,所述步骤S4b具体为,调整电压为270V,磁控溅射7min;所述步骤S5b具体为,调整电压为250V,磁控溅射35min。