1.一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器,其特征在于:所述存储器从上至下依次包括顶电极、介质层、底电极和玻璃基底,其中:所述介质层为Zr元素掺杂的卤化物钙钛矿材料。
2.根据权利要求1所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器,其特征在于:所述的卤化物钙钛矿材料的分子通式为ABX3,其中:A=CH3NH3或Cs;B=Pb;X=Cl,Br或I。
3.根据权利要求1所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器,其特征在于:所述的顶电极材料为Pt、Au或W中的任一种,所述的底电极材料为FTO、ITO、ZTO或AZO中的任一种。
4.根据权利要求1所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器,其特征在于:所述的顶电极的厚度为50nm~300nm,所述顶电极的形状为圆形或者矩形,直径或边长为50nm~1mm。
5.根据权利要求1所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器,其特征在于:所述介质层的厚度50nm~1μm,所述介质层的形状为圆形或者矩形,直径或边长为50nm~2cm。
6.根据权利要求1所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器,其特征在于:所述底电极的厚度为50nm~300nm,所述底电极的形状为圆形或者矩形,直径或边长为50nm~2cm。
7.权利要求1~6所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器的制备方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:步骤一、清洗衬底
将生长有底电极材料的玻璃基底依次用去离子水、丙酮、无水乙醇在超声仪中超声清洗,吹干;
步骤二、预留电极
在步骤一清洗处理后的底电极材料一侧边缘处贴绝缘胶,然后用紫外光处理底电极表面15~30min;
步骤三、制备介质层
两步法合成介质层:第一步是在底电极表面旋涂卤化铅溶液,烘干;第二步是将烘干后的样片置于掺杂有Zr元素的卤化甲铵(CH3NH3X)溶液或掺杂有Zr元素的卤化铯(CsX)溶液中浸泡2~10min,然后清洗、干燥,退火后制得所述的介质层;
步骤五、制备顶电极
利用磁控溅射沉积技术在介质层表面沉积顶电极。
8.根据权利要求7所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器的制备方法,其特征在于:步骤三中所述的掺杂Zr元素的卤化甲铵溶液采用如下方法配制而成:以异丙醇为溶剂,首先配制合适浓度的卤化甲铵溶液,然后向溶液中加入硝酸锆粉末,搅拌至完全溶解,得到掺杂Zr元素的卤化甲铵溶液,其中:所述硝酸锆的浓度为20~
40wt%。